[發(fā)明專(zhuān)利]三維存儲(chǔ)器件中的同軸階梯結(jié)構(gòu)及其形成方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080003273.5
• 申請(qǐng)日: 2020-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112470275A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張坤;孔翠翠;張中;周文犀
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/11519
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/11519;H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/11565;H01L27/1157;H01L27/11578
• 代理公司: 北京永新同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376
• 代理人: 趙磊;劉柳

公開(kāi)了具有同軸階梯結(jié)構(gòu)的3D存儲(chǔ)器件的實(shí)施例及其形成方法。在一個(gè)示例中，3D存儲(chǔ)器件包括存儲(chǔ)陣列結(jié)構(gòu)和位于存儲(chǔ)陣列結(jié)構(gòu)中間的同軸階梯結(jié)構(gòu)。同軸階梯結(jié)構(gòu)包括在平面圖中的徑向方向上的多個(gè)同軸區(qū)。多個(gè)同軸區(qū)中的每個(gè)同軸區(qū)包括在平面圖中的切線(xiàn)方向上的多個(gè)階梯。

背景技術(shù)

本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施例涉及三維(3D)存儲(chǔ)器件及其制造方法。

通過(guò)改進(jìn)工藝技術(shù)、電路設(shè)計(jì)、編程算法和制造工藝，平面存儲(chǔ)器單元被縮小到更小的尺寸。然而，隨著存儲(chǔ)單元的特征尺寸接近下限，平面工藝和制造技術(shù)變得具有挑戰(zhàn)性且成本高昂。結(jié)果，平面存儲(chǔ)器單元的存儲(chǔ)密度接近上限。

3D存儲(chǔ)器架構(gòu)能夠解決平面存儲(chǔ)器單元中的密度限制。3D存儲(chǔ)器架構(gòu)包括存儲(chǔ)器陣列和外圍設(shè)備，用于控制去往和來(lái)自存儲(chǔ)器陣列的信號(hào)。

發(fā)明內(nèi)容

本文公開(kāi)了具有同軸階梯結(jié)構(gòu)的3D存儲(chǔ)器件的實(shí)施例及其形成方法。

在一個(gè)示例中，3D存儲(chǔ)器件包括存儲(chǔ)陣列結(jié)構(gòu)和位于存儲(chǔ)陣列結(jié)構(gòu)中間的同軸階梯結(jié)構(gòu)。同軸階梯結(jié)構(gòu)包括在平面圖中的徑向方向上的多個(gè)同軸區(qū)。多個(gè)同軸區(qū)中的每個(gè)同軸區(qū)包括在平面圖中的切線(xiàn)方向上的多個(gè)階梯。

在另一示例中，3D存儲(chǔ)器件包括存儲(chǔ)陣列結(jié)構(gòu)和位于存儲(chǔ)陣列結(jié)構(gòu)中間的同軸階梯結(jié)構(gòu)。同軸階梯結(jié)構(gòu)包括在平面圖中的切線(xiàn)方向上的多個(gè)扇區(qū)。多個(gè)扇區(qū)中的每個(gè)扇區(qū)都包括在平面圖中的徑向方向上的多個(gè)階梯。

在又一示例中，公開(kāi)了一種用于形成3D存儲(chǔ)器件的同軸階梯結(jié)構(gòu)的方法。在包括垂直交錯(cuò)的犧牲層和電介質(zhì)層的電介質(zhì)堆疊的中間，在平面圖中的切線(xiàn)方向形成多個(gè)扇區(qū)。多個(gè)扇區(qū)中的每個(gè)扇區(qū)都處于不同的深度。在多個(gè)扇區(qū)的每個(gè)扇區(qū)中，在平面圖中的徑向方向上朝向多個(gè)扇區(qū)的中心形成多個(gè)階梯，使得多個(gè)扇區(qū)中的每個(gè)階梯處于不同的深度。

附圖說(shuō)明

結(jié)合本文并且形成說(shuō)明書(shū)一部分的附圖示出了本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施例，并且與說(shuō)明書(shū)一起進(jìn)一步用于解釋本公開(kāi)內(nèi)容的原理，并且使相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠?qū)懗龊褪褂帽竟_(kāi)內(nèi)容。

圖1A示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的具有示例性同軸階梯結(jié)構(gòu)的3D存儲(chǔ)器件的平面圖。

圖1B示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的具有另一示例性同軸階梯結(jié)構(gòu)的示例性3D存儲(chǔ)器件的平面圖。

圖2示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的具有同軸階梯結(jié)構(gòu)的示例性3D存儲(chǔ)器件的頂部前方透視圖。

圖3示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的具有同軸階梯結(jié)構(gòu)的示例性3D存儲(chǔ)器件的側(cè)視圖。

圖4A示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的多個(gè)同軸區(qū)的示例性方案，每個(gè)同軸區(qū)包括多個(gè)階梯。

圖4B示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的多個(gè)同軸區(qū)的另一示例性方案，每個(gè)同軸區(qū)包括多個(gè)階梯。

圖5示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的多個(gè)扇區(qū)的示例性方案，每個(gè)扇區(qū)包括多個(gè)階梯。

圖6A-6H示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的各種實(shí)施例的用于形成3D存儲(chǔ)器件的示例性同軸階梯結(jié)構(gòu)的加工過(guò)程。

圖7示出了根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施例的在形成同軸階梯結(jié)構(gòu)時(shí)將多個(gè)扇區(qū)截?cái)嗟讲煌疃鹊氖纠苑桨浮?/p>

圖8是根據(jù)一些實(shí)施例的用于形成3D存儲(chǔ)器件的示例性同軸階梯結(jié)構(gòu)的方法的流程圖。

圖9是根據(jù)一些實(shí)施例的用于形成3D存儲(chǔ)器件的示例性同軸階梯結(jié)構(gòu)的另一方法的流程圖。

將參考附圖描述本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施例。

具體實(shí)施方式