[實用新型]電子氣體水含量取樣器

有效

• 申請號: 202023330320.3
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN214503052U
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 王紅亮;牛鐵洋
• 申請（專利權）人: 北京環宇京輝京城氣體科技有限公司
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22;G01N33/00
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 趙萬凱

本申請涉及電子氣體水含量取樣器，其包括進樣管、吹掃管，進樣管和吹掃管在端部相互連通，進樣管的另一端與測量儀本體連通，吹掃管的另一端連通有惰性氣體氣源或待測氣體氣源；進樣管和吹掃管的連接處還連通有若干樣品管，樣品管的另一端與待測氣體氣源相互連通；進樣管上設置有一進樣閥，吹掃管上設置有一吹掃閥，樣品管上設置有一樣品閥。本申請具有提高電子氣體水含量測定工作連續性的效果。

技術領域

本申請涉及電子氣體檢測的領域，尤其是涉及電子氣體水含量取樣器。

背景技術

電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

因此，電子氣體在出廠前需要對其含水量等指標進行檢測，相關領域中電子氣體含水量的檢測時常使用微量水分測量儀，在檢測時，首先使用惰性氣體如氮氣對微量水分測量儀進行吹掃，然后將裝有待測氣體的氣瓶與微量水分測量儀相連，然后通過旋擰瓶口閥門，從而調節氣瓶的出口氣壓達到微量水分測量儀所需值，待測氣體經過微量水分測量儀后測得氣體的含水量。

然而當工作人員需要對多瓶氣體進行測量時，工作人員每測定完成一氣瓶后需要更換氣瓶，此時微量水分測量儀需要停機等待，并且在連接新的氣瓶之前還需要重新進行吹掃，上述操作流程繁瑣，并且影響測定工作的連續性，從而影響工作效率。

實用新型內容

為了提高電子氣體水含量測定工作的連續性，本申請提供電子氣體水含量取樣器。

本申請提供的電子氣體水含量取樣器采用如下的技術方案：

電子氣體水含量取樣器，包括進樣管、吹掃管，進樣管和吹掃管在端部相互連通，進樣管的另一端與測量儀本體連通，吹掃管的另一端連通有惰性氣體氣源或待測氣體氣源；進樣管和吹掃管的連接處還連通有若干樣品管，樣品管的另一端與待測氣體氣源相互連通；進樣管上設置有一進樣閥，吹掃管上設置有一吹掃閥，樣品管上設置有一樣品閥。

通過采用上述技術方案，工作人員可以將氮氣氣瓶連接在吹掃管上，并對取樣器以及測量儀本體進行吹掃，然后在樣品管上連接待測氣瓶，關閉吹掃管后，待測氣體吹入取樣器內，并被設置在取樣器末端的測量儀本體檢測。此時工作人員可以將另一待測氣瓶安裝在吹掃管。待上一待測氣瓶檢測完成后，工作人員可以通過控制閥門的開閉，從而控制吹掃管處的待測氣體吹入測量儀本體從而使得檢測可以連續進行，提高了工作效率。

可選的，所述樣品管至少設置有兩個。

通過采用上述技術方案，樣品管至少設置有兩個，從而使得工作人員不必對吹掃管處的氮氣瓶進行拆卸，從而提高了使用的便捷性。

可選的，所述進樣管與測量儀本體之間還設置有一用于對吹入測量儀本體的氣體進行過濾的過濾器。

通過采用上述技術方案，由于管道與閥門，氣瓶之間的連接采用螺紋連接，更換氣瓶旋擰管道時產生的金屬顆粒對測量儀本體的檢測精度有影響，過濾器的設置，減少了金屬顆粒以及氣體中其他雜質進入測量儀本體內部，從而提高了測量儀本體對待測氣體內部水分含量測定的準確性。

可選的，所述過濾器與測量儀本體之間還設置有一減壓閥。

通過采用上述技術方案，當氣體通過過濾器后，氣體的氣壓發生波動，過濾器后方減壓閥的設置，將氣壓調節至測量儀本體所需的工作氣壓，并使得氣壓處于穩定狀態，當更換待測氣瓶時，減壓閥控制輸出的氣壓保持穩定狀態，從而提高了測量的穩定性。

可選的，還包括安裝板，安裝板上設置有用于對進樣管、吹掃管、樣品管進行固定的抱箍，抱箍包括弧形的固定部，設置在固定板兩側的連接邊沿，連接邊沿與安裝板通過螺栓連接。