[實用新型]一種樣品臺及掃描電子顯微鏡有效
| 申請號： | 202023229180.0 | 申請日： | 2020-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN213958903U | 公開（公告）日： | 2021-08-13 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 宣城睿暉宣晟企業管理中心合伙企業（有限合伙） |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 于妙卓 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市經濟*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 樣品 掃描 電子顯微鏡 | ||
1.一種樣品臺，其特征在于，包括：
基臺體(1)，具有面向檢測部件設置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平臺面(5)、第一垂直斷面臺面(4)和第一斜臺面(3)；所述水平臺面(5)沿水平方向設置，所述第一垂直斷面臺面(4)沿豎直方向設置，所述第一斜臺面(3)呈傾斜設置。
2.根據權利要求1所述的樣品臺，其特征在于，
所述第一端面上還包括傾斜角度與所述第一斜臺面(3)的傾斜角度不同的第二斜臺面(7)。
3.根據權利要求2所述的樣品臺，其特征在于，
所述基臺體(1)上設有凹槽，所述凹槽的槽底為所述水平臺面(5)，所述凹槽的其中一個側壁為所述第一垂直斷面臺面(4)。
4.根據權利要求3所述的樣品臺，其特征在于，
所述凹槽為矩形槽，所述第一端面上還包括作為所述矩形槽的另一側壁的第二垂直斷面臺面(6)。
5.根據權利要求4所述的樣品臺，其特征在于，
所述矩形槽的其中一個槽口邊緣向靠近所述基臺體(1)的一側邊緣的方向傾斜延伸形成所述第一斜臺面(3)；
所述矩形槽的另一個槽口邊緣向靠近所述基臺體(1)的另一側邊緣的方向傾斜延伸形成所述第二斜臺面(7)。
6.根據權利要求5所述的樣品臺，其特征在于，
所述第一斜臺面(3)靠近所述矩形槽的槽口一端的高度大于靠近所述基臺體(1)一側邊緣的高度；
所述第二斜臺面(7)靠近所述矩形槽的槽口一端的高度大于靠近所述基臺體(1)一側邊緣的高度。
7.根據權利要求5所述的樣品臺，其特征在于，
所述第一斜臺面(3)的傾角范圍為55°－65°，所述第二斜臺面(7)的傾角范圍為25°－35°。
8.根據權利要求3所述的樣品臺，其特征在于，
所述基臺體(1)呈圓柱狀結構，所述基臺體(1)的頂面為所述第一端面，所述凹槽由所述基臺體(1)的頂面向下凹陷形成。
9.根據權利要求1－8任一項所述的樣品臺，其特征在于，
所述基臺體(1)的外周壁上設有若干用于連接外部部件的安裝孔(2)。
10.一種掃描電子顯微鏡，其特征在于，包括權利要求1－9中任一項所述的樣品臺。
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