[實用新型]PICP干刻下電氦漏檢測設備

有效

• 申請號: 202023219175.1
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN215832948U
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發明（設計）人: 趙浩;金衛明;何新玉;朱傳兵;強軍
• 申請（專利權）人: 蕪湖芯通半導體材料有限公司
• 主分類號: G01M3/26
• 分類號: G01M3/26;B66C1/10;F16J15/06
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 張巧嬋

本實用新型提供一種應用于PICP干刻技術領域的PICP干刻下電氦漏檢測設備，所述的PICP干刻下電氦漏檢測設備的設備框架(1)上設置檢測板定版(3)，起吊部件(2)的起吊部件上組件(6)包括帶通孔的上吊具(8)，起吊部件下組件(7)包括設置在設備框架(1)上的固定座(9)，固定座(9)上設置桿件(10)，檢測板定版(2)下部安裝氦檢抽氣部件(30)，氦檢抽氣部件(30)與PICP下電(20)連通，氦檢儀與檢測板定版(3)連通，本實用新型的PICP干刻下電氦漏檢測設備，能夠方便快捷實現PICP下電的氦漏檢測，有效完成PICP下電產品是否存在泄漏的判斷，避免無法使用產品出廠情況出現。

技術領域

本實用新型屬于PICP干刻技術領域，更具體地說，是涉及一種PICP干刻下電氦漏檢測設備。

背景技術

PICP(英文全稱：Planar Inductively Coupled Plasma，中文全稱：平面感應耦合等離子體)下電生產中，根據客戶端使用要求，PICP下電在來料時和做完工藝處理后需要進行氦檢，判斷產品是否存在泄漏，避免造成無法使用的情況。現有氦漏檢測沒有定位，基板和下電極組裝時可能會錯位，從而影響產品質量和檢測工作效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種結構簡單，能夠方便快捷實現PICP下電的氦漏檢測，從而有效完成產品是否存在泄漏的判斷，避免無法使用產品出廠情況出現的PICP干刻下電氦漏檢測設備。

要解決以上所述的技術問題，本實用新型采取的技術方案為：

本實用新型為一種PICP干刻下電氦漏檢測設備，所述的PICP干刻下電氦漏檢測設備包括設備框架、起吊部件、氦檢儀，設備框架上設置檢測板定版，檢測板定版上表面邊沿設置凸起邊，凸起邊內圈設置密封圈，起吊部件包括起吊部件上組件和起吊部件下組件，起吊部件上組件包括帶通孔的上吊具，起吊部件下組件包括設置在設備框架上的固定座，固定座上設置桿件，檢測板定版下部安裝氦檢抽氣部件，氦檢抽氣部件與PICP下電連通，氦檢儀與檢測板定版連通，下部安裝PICP下電設置為能夠安裝在檢測板定版上表面位置的結構。

所述的氦檢抽氣部件包括高真空閥安裝板、變徑管、真空六通管、多個高真空閥、波紋管。

所述的PICP干刻下電氦漏檢測設備的氦檢抽氣部件還包括卡扣、卡箍、波紋管法蘭頭和法蘭盲盤。

所述的PICP干刻下電氦漏檢測設備的氦檢抽氣部件的高真空閥安裝板安裝在設備框架上，卡箍安裝在高真空閥安裝板上，卡箍用于固定真空六通管，卡扣連接真空六通管和高真空閥，波紋管一端連接波紋管法蘭頭，波紋管另一端連接高真空閥。

所述的波紋管法蘭頭設置為能夠與PICP下電連通的結構，變徑管通過卡扣與真空六通管連接在一起，變徑管連接分子泵，分子泵作業時，真空六通管另一端設置為能夠與法蘭盲盤連接實現結構密封的結構。

所述的起吊部件的起吊部件上組件的上吊具包括多個，多個上吊具沿PICP 下電側面一周按間隙布置，起吊部件下組件設置為與起吊部件上組件數量和位置一一對應的結構，起吊部件下組件的桿件垂直布置。

所述的下部安裝PICP下電安裝在檢測板定版上表面位置時，PICP下電通過螺絲與檢測板定版固定連接，檢測板定版下表面的密封板上的螺栓與密封圈連接，實現密封圈的固定并保證密封圈密封的結構，氦檢儀設置為能夠對PICP下電通過氦檢抽氣部件進行氦檢的結構。

所述的PICP干刻下電氦漏檢測設備的檢測板定版下部設置開槽口，冷卻器塞板位于開槽口內，冷卻器塞板同時通過螺栓與PICP下電固定連接。

所述的設備框架1包括鋁型材本體、角件，鋁型材本體和角件固定連接形成設備框架。

所述的POM墊塊固定在鋁型材本體上支撐檢測板定版，直角支架固定在鋁型材本體上定位檢測板定版。