[實用新型]研磨裝置及硅棒切磨一體機

有效

• 申請號: 202023185581.0
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN215039119U
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 李鑫;盧建偉;曹奇峰
• 申請（專利權）人: 上海日進機床有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B24B27/00;B24B9/06;B24B7/16;B24B41/06
• 代理公司: 上海巔石知識產權代理事務所(普通合伙) 31309
• 代理人: 張明;王再朝

1.一種研磨裝置，其特征在于，應用于一硅棒切磨一體機中，所述硅棒切磨一體機包括機座、切割裝置、研磨裝置以及硅棒轉換裝置；所述研磨裝置包括：

研磨支座，活動設于所述機座上；以及

至少一對研磨磨具，對向設置于所述研磨支座上。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨支座通過第一滑移機構滑設于所述機座。

3.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述至少一對研磨磨具通過第二滑移機構滑設于所述研磨支座。

4.根據權利要求3所述的研磨裝置，其特征在于，所述第二滑移機構包括第一方向滑移單元和第二方向滑移單元。

5.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨磨具包括：

主軸；以及

至少一研磨砂輪組件，設置于所述主軸的作業端。

6.根據權利要求5所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨砂輪組件包括粗磨砂輪、精磨砂輪、或粗磨砂輪與精磨砂輪的嵌套組合。

7.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨磨具包括：

轉動式底盤；

雙頭主軸，設置于所述轉動式底盤上，其第一端設有至少一個粗磨砂輪，其第二端設有至少一個精磨砂輪；以及

轉換電機，用于驅動所述轉動式底盤進行轉動以使所述雙頭主軸的第一端和第二端互換位置。

8.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包括至少一倒角磨具，所述倒角磨具設于所述研磨支座上，用于對已切割硅棒的棱邊進行倒角或滾圓。

9.根據權利要求8所述的研磨裝置，其特征在于，所述倒角磨具包括倒角砂輪，所述倒角砂輪的軸心與已切割硅棒的軸心具有一偏移量。

10.一種硅棒切磨一體機，其特征在于，包括：

機座，具有硅棒加工平臺；所述硅棒加工平臺包括切割區位和研磨區位；

切割裝置，包括：切割單元和調距單元；所述切割單元包括兩條正交的切割線鋸，所述兩條正交的切割線鋸用于對所述切割區位處待切割硅棒進行切割以形成兩個正交的側面；所述調距單元用于調整所述切割單元中兩條正交的切割線鋸的切割位置；

如權利要求1至9中任一項所述的研磨裝置，用于對所述研磨區位處的已切割硅棒進行磨面及倒角；以及

硅棒轉換裝置，設于所述硅棒加工平臺上，用于將所述硅棒在切割區位和研磨區位之間進行轉換。