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[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202023161487.1 申請日: 2020-12-23
公開(公告)號: CN213691995U 公開(公告)日: 2021-07-13
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李明宇;蘇曉山;王大明;賈國 申請(專利權(quán))人: 深圳吉華微特電子有限公司
主分類號: H01L23/00 分類號: H01L23/00
代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384 代理人: 馮建華;劉曰瑩
地址: 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 半導(dǎo)體器件 防潮 結(jié)構(gòu)
【權(quán)利要求書】:

1.一種半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:襯底和形成于所述襯底表面的阱,所述阱內(nèi)形成所需的器件,所述器件的上表面低于所述阱的上表面,所述器件周邊的襯底形成一圈隔離區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,所述襯底為本征硅或摻雜硅。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,所述襯底為摻雜硅中的N型硅時,所述阱為P阱,所述襯底為摻雜硅中的P型硅時,所述阱為N阱。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,所述襯底為本征硅時,所述阱為P阱或N阱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,所述隔離區(qū)的寬度為10-90um。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,所述器件的上表面低于所述阱的上表面10-20um。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體器件防潮結(jié)構(gòu),其特征在于,所述器件為功率器件。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

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4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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