[實(shí)用新型]用于對(duì)部件承載件進(jìn)行檢查的裝置及設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023146989.7
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN214374383U
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙驕陽;何瑞攀
• 申請（專利權(quán)）人: 奧特斯科技（重慶）有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 成都超凡明遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51258
• 代理人: 王暉;曹桓

1.一種用于對(duì)部件承載件進(jìn)行檢查的裝置，其特征在于，所述裝置(100)包括：

電磁輻射源(110)，所述電磁輻射源用于沿著軌跡(T1)發(fā)射第一電磁輻射束(111)；

樣品保持件(120)，所述樣品保持件用于保持待檢查的所述部件承載件(101)，

其中，所述部件承載件(101)包括至少一個(gè)通孔(102)，以及

其中，所述樣品保持件(120)被配置成將所述部件承載件(101)保持到位，使得所述第一電磁輻射束(111)的所述軌跡(T1)穿過所述至少一個(gè)通孔(102)；

光學(xué)元件(130)，所述光學(xué)元件被布置成在所述第一電磁輻射束(111)穿過所述至少一個(gè)通孔(102)之后接收所述第一電磁輻射束，并且所述光學(xué)元件被配置成使所述第一電磁輻射束(111)的至少一個(gè)物理參數(shù)改變以提供第二電磁輻射束(112)；以及

電磁輻射檢測器(140)，所述電磁輻射檢測器用于接收所述第二電磁輻射束(112)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述電磁輻射源(110)包括光源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述電磁輻射檢測器(140)包括相機(jī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述光學(xué)元件(130)被配置成使所述第一電磁輻射束(111)的焦距改變，使得所述第二電磁輻射束(112)的焦距與所述第一電磁輻射束(111)的焦距不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述光學(xué)元件(130)被配置成使所述第一電磁輻射束(111)的所述軌跡(T1)改變，使得所述第一電磁輻射束(111)的所述軌跡(T1)與所述第二電磁輻射束(112)的另一軌跡(T2)不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，

所述光學(xué)元件(130)包括反射鏡，所述反射鏡定向?yàn)橄鄬?duì)于所述第一電磁輻射束(111)的所述軌跡(T1)成介于30°與60°之間的角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，

所述電磁輻射檢測器(140)以相對(duì)于所述第一電磁輻射束(111)的所述軌跡(T1)偏移的方式布置，其中，所述偏移為相對(duì)于與所述軌跡(T1)平行的軸線成介于30°與90°之間的偏移。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述部件承載件(101)是具有1.5mm的厚度或更大厚度的厚板。

9.一種用于對(duì)部件承載件進(jìn)行檢查的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備(150)包括：

根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置(100)；以及

布置在所述樣品保持件(120)中的所述部件承載件(101)，其中，所述部件承載件(101)包括多個(gè)通孔(102)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，

所述多個(gè)通孔(102)形成識(shí)別區(qū)域。