[實用新型]一種半導體設備用冷卻盤裝置

有效

• 申請號: 202022919334.2
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN213814445U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 馮嘉荔
• 申請（專利權）人: 馮嘉荔
• 主分類號: G05G5/02
• 分類號: G05G5/02;F25B21/02
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 吳圳添

本實用新型為一種半導體設備用冷卻盤裝置，包括底座，所述底座包括保護殼以及頂蓋，所述保護殼包括連接板以及冷卻管道，所述冷卻管道為螺旋形，所述連接板設有冷卻孔，所述冷卻管道的一端設有連接件，所述連接件設有連接孔，所述連接孔的兩側設有螺紋孔，所述冷卻管道的外壁上設有隔熱層，通過連接件連接冷卻設備，通過連接件防止冷氣泄漏出去，使冷氣傳輸到冷卻管道上，通過冷卻孔將冷卻管道的冷氣充分傳輸到保護殼內部，通過螺旋形的冷卻管道對保護殼內部進行充分傳輸冷氣，保證對物料的冷卻充分，通過保護殼進行保溫，通過頂蓋進行封住保護殼，使冷氣在保護殼內部充分冷卻物料，結構簡單，方便工作人員安裝。

技術領域

本實用新型涉及半導體生產設備技術領域，具體為一種半導體設備用冷卻盤裝置。

背景技術

眾所周知，在半導體設備中，冷卻盤對烘烤過后晶元的冷卻步驟是必不可少的，冷卻盤的冷卻精度與穩定性就成為了半導體設備中的一道關鍵指標，目前主流的冷卻盤安裝與加工精度都不夠，會嚴重影響冷卻盤的冷卻制冷效果。

如對比公開專利“CN201721114868.X”名為“一種新型的導流冷卻盤組”，包括結構相同的第一冷卻盤、第二冷卻盤、第三冷卻盤和第四冷卻盤，第一冷卻盤與第二冷卻盤相對稱設置，第三冷卻盤與第四冷卻盤相對稱設置，第一冷卻盤與第三冷卻盤相對稱設置，第一冷卻盤、第二冷卻盤、第三冷卻盤和第四冷卻盤組成正方形冷卻盤組，該冷卻盤組結構較為復雜，不方便工作人員組裝，現需一種結構穩定，安裝簡單的冷卻盤結構。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種結構穩定，安裝簡單的半導體設備用冷卻盤裝置。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體設備用冷卻盤裝置，包括底座，所述底座包括保護殼以及頂蓋，所述保護殼安裝在所述底座的頂端，所述頂蓋安裝在所述保護殼的頂端，所述頂蓋螺紋連接所述保護殼，所述保護殼包括連接板以及冷卻管道，所述連接板以及冷卻管道均安裝在所述保護殼的內部，所述冷卻管道安裝在所述連接板的底端，所述冷卻管道為螺旋形，且所述冷卻管道延伸至所述保護殼的外側，所述連接板設有冷卻孔，所述冷卻孔連通所述冷卻管道，所述冷卻孔設有多個，所述冷卻管道的一端設有連接件，且所述連接件位于所述保護殼的外側，所述連接件設有連接孔，所述連接孔貫穿所述連接件，所述連接孔的兩側設有螺紋孔，所述冷卻管道螺紋連接所述螺紋孔，所述冷卻管道的外壁上設有隔熱層，所述隔熱層包裹所述冷卻管道。

為了方便將冷卻空氣排出，本實用新型改進有，所述頂蓋的頂端設有出氣口，所述出氣口連通所述頂蓋，所述出氣口的頂端設有氣蓋，所述氣蓋螺紋連接所述出氣口。

為了防止水滲入內部，影響裝置的正常運行，本實用新型改進有，所述連接件的兩端設有阻水層。

為了方便工作人員安裝固定該裝置，本實用新型改進有，所述底座上設有安裝孔，所述安裝孔上設有螺紋銷，所述螺紋銷螺紋連接所述安裝孔，所述螺紋銷設有螺帽，所述螺帽安裝在所述螺紋銷的一端。

為了方便工作人員緊固該裝置，本實用新型改進有，所述螺帽的形狀為六邊形。

為了方便工作人員拆卸，本實用新型改進有，所述螺帽的頂端設有十字凹槽。

為了防止裝卸過程中工作人員使用工具出現打滑等現象，本實用新型改進有，所述十字凹槽上設有防滑齒。

為了更好的進行冷卻，降低該裝置的功耗，本實用新型改進有，所述保護殼的內層設有保溫層。

(三)有益效果

與現有技術相比，本實用新型提供了一種半導體設備用冷卻盤裝置，具備以下有益效果：