[實用新型]一種具有抽液功能的烘干槽

有效

• 申請號: 202022888334.0
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN213747779U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 陶俊;張三洋;翟連方
• 申請（專利權）人: 無錫琨圣智能裝備股份有限公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00;F26B25/00;B08B5/04;B01D46/00
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

本實用新型屬于高純清洗領域，提供了一種具有抽液功能的烘干槽，包括箱體，箱體包括箱體側壁和箱體底板，箱體底板上間隔設置有花籃固定座，花籃固定座上放置有花籃，箱體內部在花籃的兩側設置有若干吹風管，吹風管通過加熱器連接有鼓風泵，吹風管朝向花籃的側面均勻設置有若干吹風孔，箱體底板上在花籃的下方設置有若干抽氣風刀，箱體底板的下方設置有抽氣盒，每個抽氣風刀均與抽氣盒連通，抽氣盒通過抽氣管連接有抽氣泵。本實用新型提供的具有抽液功能的烘干槽，能夠將花籃底桿部分的水滴快速抽走，提高整體烘干效果，防止二次污染，提高產品良率。

技術領域

本實用新型涉及一種烘干槽，尤其涉及一種具有抽液功能的烘干槽。

背景技術

在光伏、半導體領域的產品制作過程中，需要進行清洗和烘干工作，烘干工作通常都是利用烘干槽來完成的。針對硅片的烘干，目前烘干槽的設計是內部放置固定有硅片的花籃，然后從側面和下面對花籃進行吹風，達到對花籃和硅片的烘干效果。目前烘干槽存在的缺陷是：烘干效果差，容易造成二次污染。這是因為硅片本身經過緩慢提拉后帶水是非常少的，可以很快烘干，一般烘不干的都是花籃的底桿部分，水分在重力作用下會匯集在底桿底部，由于目前硅片尺寸越來越大，所用烘干槽體積也越來越大，槽內單位面積的風量變的非常有限，因此即使烘干時間達到700秒以上底桿仍然會殘留大量水滴，水滴在工序周轉過程中容易弄到硅片上產生污染。即使一些烘干槽設計通過增加針對底桿位置的吹風，烘干效果有明顯改善，但針對底桿吹風，吹散的水滴會在硅片上形成固定位置的麻點，導致良率降低。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服現有的缺陷，提供一種具有抽液功能的烘干槽，解決目前烘干槽對于花籃底桿的烘干效果差，導致產品良率降低的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

一種具有抽液功能的烘干槽，包括箱體，所述箱體包括箱體側壁和箱體底板，所述箱體底板上間隔設置有花籃固定座，所述花籃固定座上放置有花籃，所述箱體內部在所述花籃的兩側設置有若干吹風管，所述吹風管通過加熱器連接有鼓風泵，所述吹風管朝向所述花籃的側面均勻設置有若干吹風孔，所述箱體底板上在所述花籃的下方設置有若干抽氣風刀，所述箱體底板的下方設置有抽氣盒，每個所述抽氣風刀均與所述抽氣盒連通，所述抽氣盒通過抽氣管連接有抽氣泵。

進一步地，所述花籃固定座上設置有限位凸起，所述花籃上設置有限位凹槽。

進一步地，所述吹風管與加熱器之間設置有第一過濾器。

進一步地，所述加熱器與鼓風泵之間設置有第二過濾器。

進一步地，每個所述花籃的每根底桿下方均對應設置有一個所述抽氣風刀。

進一步地，所述抽氣風刀的上端面設置有V型槽，所述V型槽的底部均勻設置有若干抽氣孔。

進一步地，所述抽氣盒通過送風管連接有風機。

本實用新型一種具有抽液功能的烘干槽，能夠將花籃底桿部分的水滴快速抽走，提高整體烘干效果，防止二次污染，提高產品良率。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型中箱體底板的結構示意圖；

圖3是本實用新型中抽氣風刀的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的優選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優選實施例僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。