[實用新型]一種多功能型晶圓傳送手臂

有效

• 申請號: 202022811966.7
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN213731811U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 唐正隆;吳星華;任碩;汪麗靜
• 申請（專利權）人: 合肥開悅半導體科技有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00
• 代理公司: 北京圣州專利代理事務所(普通合伙) 11818
• 代理人: 王振佳

本實用新型公開了一種多功能型晶圓傳送手臂，包括本體，所述本體的前端設有圓弧形夾持臂，其后端設有固定部，所述夾持臂末端的兩側設有與所述固定部連接的向內凹的弧形凹槽，所述夾持臂的寬度不大于所述固定部的寬度，所述夾持臂寬邊的兩側設有對稱設置的平端；所述固定部的中部設有第一減重槽，所述夾持臂的后端設有與所述固定部連接的第二減重槽，所述夾持臂的弧形結構前端的下方設有環形延長板，所述延長板、所述夾持臂的兩端和中部均設有夾持頭。本實用新型采用上述結構的一種多功能型晶圓傳送手臂，結構簡單，操作方便，實現多種類型晶圓的傳送。

技術領域

本實用新型涉及晶圓傳送手臂技術領域，特別是涉及一種多功能型晶圓傳送手臂。

背景技術

目前，半導體設備的傳送機器人上安裝的傳送手臂大多為真空吸附式，但晶圓在制作過程中有時會發生翹曲，普通的傳送手臂在傳送過程中，由于晶圓的翹曲，手臂不能完全吸住晶圓，甚至會發生掉片，造成不必要的損失。并且，現有的傳送臂適用于單一尺寸的晶圓，為了適用不同尺寸的晶圓需要不同尺寸的傳送臂，極大增加了生產成本。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種多功能型晶圓傳送手臂，結構簡單，操作方便，實現多種類型晶圓的傳送。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種多功能型晶圓傳送手臂，包括本體，所述本體的前端設有圓弧形夾持臂，其后端設有固定部，所述夾持臂末端的兩側設有與所述固定部連接的向內凹的弧形凹槽，所述夾持臂的寬度不大于所述固定部的寬度，所述夾持臂寬邊的兩側設有對稱設置的平端；

所述固定部的中部設有第一減重槽，所述夾持臂的后端設有與所述固定部連接的第二減重槽，所述夾持臂的弧形結構前端的下方設有環形延長板，所述延長板、所述夾持臂的兩端和中部均設有夾持頭。

優選的，所述夾持頭包括固定座和設置于所述固定座中部前方的水平托板，所述托板的兩側設有向內凹的弧形結構。

優選的，所述延長板上設有位于中部夾持頭兩側的弧形第三減重槽，所述第三減重槽的外側設有位于所述夾持臂上的加強筋。

優選的，所述延長板上設有與所述夾持臂對應的開口。

優選的，所述固定部位于第一減重槽的兩側設有固定孔。

因此，本實用新型采用上述結構的一種多功能型晶圓傳送手臂，結構簡單，操作方便，實現多種類型晶圓的傳送。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明

圖1是本實用新型一種多功能型晶圓傳送手臂實施例的示意圖。

附圖標記

1、本體；2、夾持臂；3、固定部；4、凹槽；5、第一減重槽；6、平端； 7、第二減重槽；8、第三減重槽；9、延長板；10、夾持頭；11、固定座； 12、托板；13、加強筋；14、固定孔。

具體實施方式

下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。

在本發明的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內”、“順時針”、“逆時針”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。