[實用新型]一種多功能型晶圓傳送手臂有效
| 申請號： | 202022811966.7 | 申請日： | 2020-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN213731811U | 公開（公告）日： | 2021-07-20 |
| 發明（設計）人： | 唐正隆;吳星華;任碩;汪麗靜 | 申請（專利權）人： | 合肥開悅半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | B25J15/00 | 分類號： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 北京圣州專利代理事務所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 王振佳 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市經濟技術開發區合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多功能 型晶圓 傳送 手臂 | ||
【權利要求書】：
1.一種多功能型晶圓傳送手臂，其特征在于：包括本體，所述本體的前端設有圓弧形夾持臂，其后端設有固定部，所述夾持臂末端的兩側設有與所述固定部連接的向內凹的弧形凹槽，所述夾持臂的寬度不大于所述固定部的寬度，所述夾持臂寬邊的兩側設有對稱設置的平端；
所述固定部的中部設有第一減重槽，所述夾持臂的后端設有與所述固定部連接的第二減重槽，所述夾持臂的弧形結構前端的下方設有環形延長板，所述延長板、所述夾持臂的兩端和中部均設有夾持頭。
2.根據權利要求1所述的一種多功能型晶圓傳送手臂，其特征在于：所述夾持頭包括固定座和設置于所述固定座中部前方的水平托板，所述托板的兩側設有向內凹的弧形結構。
3.根據權利要求1所述的一種多功能型晶圓傳送手臂，其特征在于：所述延長板上設有位于中部夾持頭兩側的弧形第三減重槽，所述第三減重槽的外側設有位于所述夾持臂上的加強筋。
4.根據權利要求1所述的一種多功能型晶圓傳送手臂，其特征在于：所述延長板上設有與所述夾持臂對應的開口。
5.根據權利要求1所述的一種多功能型晶圓傳送手臂，其特征在于：所述固定部位于第一減重槽的兩側設有固定孔。
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