[實用新型]一種半導體器件氣密性檢測裝置

有效

• 申請號: 202022709201.2
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN213301587U
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 方翼翔;賴人榕
• 申請（專利權）人: 晉康精密機械（上海）有限公司
• 主分類號: G01M3/06
• 分類號: G01M3/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體器件氣密性檢測裝置，包括箱體（1），其特征在于，所述箱體（1）右側開設有放置口（2），箱體（1）左側開設有取物口（3），箱體（1）上固定連接傳輸機構（4），傳輸機構（4）上固定連接若干個夾持機構（5），箱體（1）內側上表面固定連接張緊輪機構（6），張緊輪機構（6）上固定連接氣泡視覺傳感器（7），箱體（1）內側底部固定連接浸液池支架（8），浸液池支架（8）遠離箱體（1）的一端固定連接浸液池（9）。

2.根據權利要求1所述的半導體器件氣密性檢測裝置，其特征在于，所述傳輸機構（4）包括第一轉動座（401），第一轉動座（401）外側固定連接電機支架（402），電機支架（402）固定連接電機（403），電機（403）輸出軸固定連接第一傳輸輪（404），第一傳輸輪（404）和第一轉動座（401）轉動連接，第一傳輸輪（404）傳動連接傳輸帶（405），傳輸帶（405）傳動連接第二傳輸輪（406），第二傳輸輪（406）轉動連接第二轉動座（407），第二轉動座（407）和箱體（1）固定連接。

3.根據權利要求1或2所述的半導體器件氣密性檢測裝置，其特征在于，所述夾持機構（5）包括夾持座（501），夾持座（501）外側固定連接第一彈簧（502），第一彈簧（502）遠離夾持座（501）的一端固定連接夾持把手（503），夾持把手（503）靠近夾持座（501）的一側固定連接第一齒條（505），第一齒條（505）固定連接限位桿（504），限位桿（504）穿過夾持座（501），第一齒條（505）穿過夾持座（501），第一齒條（505）嚙合齒輪（506），齒輪（506）同軸固定連接齒輪軸（507），齒輪軸（507）和夾持座（501）轉動連接，齒輪（506）嚙合第二齒條（508），第一齒條（505）上表面固定連接第一夾持板機構（509），第二齒條（508）上表面固定連接第二夾持板機構（510）。

4.根據權利要求3所述的半導體器件氣密性檢測裝置，其特征在于，所述第一夾持板機構（509）包括移動板（5091），移動板（5091）內側固定連接第二彈簧（5092），第二彈簧（5092）遠離移動板（5091）的一端固定連接夾持板（5093）。

5.根據權利要求4所述的半導體器件氣密性檢測裝置，其特征在于，所述第二夾持板機構（510）和第一夾持板機構（509）的結構相同。

6.根據權利要求1所述的半導體器件氣密性檢測裝置，其特征在于，所述張緊輪機構（6）包括張緊套筒（601），張緊套筒（601）內側頂部固定連接第三彈簧（602），第三彈簧（602）遠離張緊套筒（601）的一端固定連接移動塊（603），移動塊（603）遠離第三彈簧（602）的一側固定連接移動桿（604），移動桿（604）遠離移動塊（603）的一端固定連接張緊輪架（605），張緊輪架（605）固定連接張緊輪軸（606），張緊輪軸（606）同軸固定連接張緊輪（607）。