[實(shí)用新型]一種顯影液的溫控裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022677950.1
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213240805U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣磊;許愿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30;G05D23/20
• 代理公司: 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種顯影液的溫控裝置，該裝置包括顯影液供應(yīng)管、第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管，換熱套管套裝在顯影液供應(yīng)管外部，顯影液供應(yīng)管依次貫穿第一換熱三通接頭和第二換熱三通接頭上，換熱套管一端密封插裝固定于第一連接管口，另一端密封插裝固定于第二連接管口，換熱介質(zhì)注入管口上密封插裝有換熱介質(zhì)供應(yīng)管，換熱介質(zhì)流出管口密封插裝有換熱介質(zhì)流出管，換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別連接對(duì)換熱介質(zhì)進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫?fù)Q熱裝置。該溫控裝置和方法可以更加準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)顯影液的溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種顯影液的溫控裝置，同時(shí)還涉及使用該溫控裝置的溫控方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，需要使用顯影液和光刻膠，而對(duì)顯影液和光刻膠的溫度有著非常嚴(yán)苛的要求，一般都是需要在23±0.1攝氏度；而目前的顯影液的溫控裝置是在顯影液供應(yīng)管的前端直接設(shè)置了電加熱裝置，利用電加熱裝置對(duì)顯影液供應(yīng)管中的顯影液進(jìn)行加熱，然后在利用顯影液供應(yīng)管外部的降溫裝置對(duì)顯影液進(jìn)行冷卻，這種結(jié)構(gòu)導(dǎo)致溫度的調(diào)控靈敏度比較低，并且溫度的調(diào)控也可能不準(zhǔn)確，容易出現(xiàn)偏差，尤其是顯影液的流速出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)，其溫度調(diào)控的準(zhǔn)確度就更低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種顯影液的溫控裝置，該溫控裝置可以更加準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)顯影液的溫度。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種顯影液的溫控裝置，包括顯影液供應(yīng)管，所述溫控裝置還包括第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管，所述第一換熱三通接頭上設(shè)置有相互連通的第一貫穿管口、第一連接管口和換熱介質(zhì)注入管口，所述第二換熱三通接頭上設(shè)置有相互連通的第二貫穿管口、第二連接管口和換熱介質(zhì)流出管口，所述換熱套管套裝在顯影液供應(yīng)管的外部一段，所述顯影液供應(yīng)管依次貫穿第一換熱三通接頭的第一貫穿管口和第一連接管口、第二換熱三通接頭上的第二連接管口和第二貫穿管口，所述顯影液供應(yīng)管與第一貫穿管口和第二貫穿管口之間密封配合；所述換熱套管一端密封插裝固定于第一換熱三通接頭的第一連接管口，另一端密封插裝固定于第二換熱三通接頭的第二連接管口，所述換熱介質(zhì)注入管口上密封插裝有換熱介質(zhì)供應(yīng)管，所述換熱介質(zhì)流出管口密封插裝有換熱介質(zhì)流出管，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別連接對(duì)換熱介質(zhì)進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫?fù)Q熱裝置。

作為一種優(yōu)選的方案，所述第一貫穿管口的直徑大于顯影液供應(yīng)管，所述第一貫穿管口上設(shè)置有臺(tái)階孔，臺(tái)階孔的底部安裝有密封圈，所述臺(tái)階孔內(nèi)螺紋安裝有中空的壓緊螺柱。

作為一種優(yōu)選的方案，所述換熱介質(zhì)注入管口和換熱介質(zhì)流出管口的結(jié)構(gòu)相同，所述換熱介質(zhì)注入管口上設(shè)置有連接螺口，所述連接螺口螺紋連接接插頭的一端，所述接插頭的另一端設(shè)置有階梯孔且設(shè)置了外螺紋段，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管的端部活動(dòng)安裝有第一壓緊螺套，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管插入所述階梯孔內(nèi)且所述第一壓緊螺套與外螺紋段螺紋連接。

作為一種優(yōu)選的方案，所述第一連接管口和第二連接管口的結(jié)構(gòu)相同，所述第一連接管口上螺紋安裝有連接管接頭，所述連接管接頭內(nèi)部設(shè)置有貫通孔且另一端設(shè)置有安裝臺(tái)階孔，所述換熱套管的兩端分別活接有第二壓緊螺套，所述換熱套管插入所述安裝臺(tái)階孔內(nèi)且通過(guò)第二壓緊螺套螺紋連接。

作為一種優(yōu)選的方案，所述第一連接管口上的接插頭上的階梯孔的內(nèi)沿設(shè)置成傾斜的內(nèi)倒角，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管的端部設(shè)置有圓錐凸環(huán)，所述圓錐凸環(huán)的小徑端朝向接插頭且插入所述階梯孔內(nèi)與內(nèi)倒角密封配合，所述第一壓緊螺套與圓錐凸環(huán)的大徑端的底面設(shè)置有密封圈。

作為一種優(yōu)選的方案，所述調(diào)溫?fù)Q熱裝置包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)置有第一熱交換模塊和第二熱交換模塊，第一熱交換模塊和第二熱交換模塊之間貼合有珀?duì)柼?，所述第一熱交換模塊上設(shè)置介質(zhì)通道且介質(zhì)通道兩端分別設(shè)置介質(zhì)入口和介質(zhì)出口，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別與介質(zhì)入口和介質(zhì)出口相連通，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管或換熱介質(zhì)流出管上設(shè)置輸送泵，所述第二熱交換模塊上設(shè)置有水循環(huán)通道且水循環(huán)通道兩端設(shè)置進(jìn)水口和出水口，進(jìn)水口和出水口分別與循環(huán)水管路相連通，所述箱體內(nèi)設(shè)置有控制所述珀?duì)柼ぷ鞯臏囟瓤刂破鳌?/p>