[實用新型]一種半導體芯片制造離子注入機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022635031.8
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN213093170U
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設計）人: 黃莉斯
• 申請（專利權(quán)）人: 黃莉斯
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種半導體芯片制造離子注入機，涉及半導體芯片制造離子注入技術(shù)領域。該半導體芯片離子注入機，包括金屬外殼，金屬外殼底部固定連接有移動裝置，金屬外殼一側(cè)固定連接有推桿，金屬外殼頂部靠近推桿一端貫穿固定連接有進氣口，進氣口底部固定連接有氣體箱，氣體箱底部固定連接有支撐板，氣體箱底部固定連接有輸氣管。該半導體芯片離子注入機，經(jīng)過離子篩選箱篩選廢棄的離子通過輸入管，經(jīng)過離子加速箱加速，再一次進入離子篩選箱，進行篩選，直至離子全部通過離子篩選箱，移動裝置由減震裝置與車輪構(gòu)成，可以方便移動離子注入機，并且不會損傷硅片放置箱內(nèi)部的硅片，解決直接廢棄不合格離子束和不方便移動問題。

技術(shù)領域

本實用新型涉及半導體芯片制造離子注入技術(shù)領域，具體為一種半導體芯片制造離子注入機。

背景技術(shù)

隨著集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對半導體工藝設備提出了越來越高的要求，為滿足新技術(shù)的需要，作為半導體離子摻雜工藝線的關鍵設備之一的離子注入機在束流指標、束能量純度、注入深度控制、注入均勻性與生產(chǎn)率等方面需要不斷地改進提高。

離子注入機是半導體生產(chǎn)過程中所使用的一種設備，其基本結(jié)構(gòu)包括離子源、氣體箱、萃取系統(tǒng)、加速系統(tǒng)、硅片放置裝置。現(xiàn)有的離子注入機大多只能篩選離子束，不合格離子束直接廢棄，并且離子注入機不方便移動。

實用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種半導體芯片制造離子注入機，解決了直接廢棄不合格離子束和不方便移動問題。

(二)技術(shù)方案

為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種半導體芯片制造離子注入機，包括金屬外殼，所述金屬外殼底部固定連接有移動裝置，所述金屬外殼一側(cè)固定連接有推桿，所述金屬外殼頂部靠近推桿一端貫穿固定連接有進氣口，所述進氣口底部固定連接有氣體箱，所述氣體箱底部固定連接有支撐板，所述氣體箱底部固定連接有輸氣管，所述輸氣管遠離氣體箱一端固定連接有離子儲存箱，所述離子儲存箱頂部固定連接有第一真空泵，所述離子儲存箱內(nèi)部靠近輸氣管一端固定連接有離子源，所述離子儲存箱遠離輸氣管一端固定連接有連接管一，所述連接管一遠離離子儲存箱一端固定連接有離子篩選箱，所述離子篩選箱遠離連接管一一端固定連接有連接管二，所述連接管二遠離離子篩選箱一端固定連接有硅片放置箱，所述離子篩選箱一側(cè)固定連接有輸出管，所述輸出管遠離離子篩選箱一端固定連接有離子加速箱，所述離子加速箱頂部固定連接有第二真空泵，所述離子加速箱遠離硅片放置箱一端固定連接有輸入管，所述離子儲存箱底部固定連接有支撐柱，所述移動裝置包括車輪、連接軸、固定板、橡膠支撐板、固定架、減震柱、擋塊、減震彈簧和頂板，所述金屬外殼底部固定連接有頂板，所述頂板一端固定連接有減震柱，所述頂板中部固定連接有減震彈簧，所述減震柱外表面套接固定架，所述減震柱遠離頂板一端固定連接有擋塊，所述減震彈簧遠離頂板一端固定連接有橡膠支撐板，所述固定架底部固定連接有固定板，所述固定板一側(cè)固定連接有連接軸，所述連接軸遠離固定板一端活動連接有車輪。

優(yōu)選的，所述橡膠支撐板底部固定連接有固定板。

優(yōu)選的，所述輸入管遠離離子加速箱一端固定連接有輸氣管。

優(yōu)選的，所述支撐板、離子篩選箱、硅片放置箱、離子加速箱和支撐柱底部固定連接有金屬外殼。

優(yōu)選的，所述車輪設置有連接槽，連接軸外表面套接連接槽。

優(yōu)選的，所述離子加速箱、第二真空泵和第一真空泵電性連接。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種半導體芯片制造離子注入機。具備以下有益效果：