[實用新型]一種半導體生產夾取裝置有效
| 申請號: | 202022600502.1 | 申請日: | 2020-11-11 |
| 公開(公告)號: | CN213424966U | 公開(公告)日: | 2021-06-11 |
| 發明(設計)人: | 陳燦榮 | 申請(專利權)人: | 杭州帕茲電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京沁優知識產權代理有限公司 11684 | 代理人: | 郭峰 |
| 地址: | 310000 浙江省杭州市蕭山區蕭山*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 生產 裝置 | ||
本實用新型提供了一種半導體生產夾取裝置,屬于半導體夾取技術領域。該半導體生產夾取裝置包括輸送機和夾取吸附機構。所述夾取吸附機構包括支架箱、電缸、滑動箱、電動推桿、夾板、抽氣泵、軟管和吸盤,所述支架箱固定連接于所述輸送機頂面兩側,所述電缸固定連接于所述支架箱內頂部,所述電缸輸出端與所述滑動箱頂部固定固定連接,所述滑動箱兩側與所述支架箱底部滑動連接,所述電動推桿固定連接于所述滑動箱內部對稱兩側,所述電動推桿輸出端均與所述夾板頂部一側固定連接,所述夾板另一側滑動貫穿于所述滑動箱底部。本實用新型可以根據需求改變夾取方式來實現對半導體穩固夾取,提高了裝置的夾取穩固性。
技術領域
本實用新型涉及半導體夾取技術領域,具體而言,涉及一種半導體生產夾取裝置。
背景技術
半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用,如二極管就是采用半導體制作的器件。無論從科技或是經濟發展的角度來看,半導體的重要性都是非常巨大的。大部分的電子產品,如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等,硅是各種半導體材料應用中最具有影響力的一種。
目前,大部分半導體生產夾取裝置不能根據需求改變夾取方式來實現對半導體穩固夾取。
實用新型內容
為了彌補以上不足,本實用新型提供了一種半導體生產夾取裝置,旨在改善大部分半導體生產夾取裝置不能根據需求改變夾取方式來實現對半導體穩固夾取的問題。
本實用新型是這樣實現的:
本實用新型提供一種半導體生產夾取裝置,包括輸送機和夾取吸附機構。
所述夾取吸附機構包括支架箱、電缸、滑動箱、電動推桿、夾板、抽氣泵、軟管和吸盤,所述支架箱固定連接于所述輸送機頂面兩側,所述電缸固定連接于所述支架箱內頂部,所述電缸輸出端與所述滑動箱頂部固定固定連接,所述滑動箱兩側與所述支架箱底部滑動連接,所述電動推桿固定連接于所述滑動箱內部對稱兩側,所述電動推桿輸出端均與所述夾板頂部一側固定連接,所述夾板另一側滑動貫穿于所述滑動箱底部,所述夾板底部一側設置有緩沖墊,所述抽氣泵固定連接于所述支架箱內部一側,所述吸盤固定連接于所述滑動箱底部,所述吸盤位于兩個所述夾板之間,所述抽氣泵輸入端通過所述軟管與所述吸盤頂部連通。
在本實用新型的一種實施例中,所述輸送機頂部卡接有半導體塊,所述半導體塊兩側設置有通槽,所述吸盤朝向半導體塊。
在本實用新型的一種實施例中,所述電缸輸出端設置有連接塊,所述連接塊底部與所述滑動箱頂部固定連接。
在本實用新型的一種實施例中,所述夾板兩側固定連接有卡塊,所述卡塊滑動連接于所述滑動箱底壁內。
在本實用新型的一種實施例中,所述抽氣泵出氣口設置有濾網,所述濾網內嵌于所述支架箱一側。
在本實用新型的一種實施例中,所述軟管兩端設置有快速接頭。
在本實用新型的一種實施例中,所述支架箱底部設置有支腿,所述支腿底部固定連接有底板。
在本實用新型的一種實施例中,所述滑動箱底部開設有空腔,所述夾板滑動連接于所述空腔內部。
在本實用新型的一種實施例中,所述吸盤底部設置有吸嘴,所述吸嘴間隔分布所述吸盤底部。
在本實用新型的一種實施例中,所述輸送機頂部設置有防護板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





