[實用新型]二截式過濾器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022586903.6
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN213699005U
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邱炳彰;劉仕偉;茹振宗;周志宇
• 申請（專利權(quán)）人: 均豪精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B01D29/11
• 分類號: B01D29/11;B01D29/50;B01D29/96
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 李林

本實用新型提供一種二截式過濾器，包括本體、多個過濾籃以及多個蓋體夾固結(jié)構(gòu)。每個過濾籃分別設(shè)置于本體之內(nèi)，過濾籃包括濾籃本體以及提把，提把連接相對應(yīng)的濾籃本體。蓋體夾固結(jié)構(gòu)用以固定相對應(yīng)的過濾籃，蓋體夾固結(jié)構(gòu)分別包括蓋體、壓迫結(jié)構(gòu)、快拆式夾具以及鎖固元件。壓迫結(jié)構(gòu)設(shè)置于蓋體之內(nèi)，且壓迫結(jié)構(gòu)用以壓制相對應(yīng)的提把。快拆式夾具包括第一環(huán)體以及第二環(huán)體，第一環(huán)體與第二環(huán)體分別夾固蓋體的外側(cè)，且憑借鎖固元件以鎖固第一環(huán)體與第二環(huán)體。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種二截式過濾器。

背景技術(shù)

晶圓在儲槽中浸泡，然后經(jīng)由泵浦循環(huán)管路循環(huán)，過程中會經(jīng)過大量的片狀殘留物(含金屬的光阻剝離物)。而這些殘留物除了會影響產(chǎn)品，也會對泵浦循環(huán)管路造成損傷，因此要在泵浦循環(huán)管路中增加過濾器。

現(xiàn)有技術(shù)中，有利用在泵浦前過濾盒加裝濾籃，來避免金屬掀離(Metal lift-off)制程中產(chǎn)生大量含金屬的光阻剝離物對于泵浦使用壽命與產(chǎn)品合格率的影響。

然而，此過濾盒是由主體、上蓋以及濾籃組成，濾籃放置于主體之內(nèi)，并憑借上蓋固定于主體，由于為了維持氣密，上蓋需要多顆螺絲固定，如此避免高溫高壓的溶劑所造成滲透，進而導(dǎo)致漏液的問題。此外，組裝過程中需要墊片，由于墊片壽命低，導(dǎo)致每次拆裝均需要更換新的一批墊片。

另外，由于目前過濾籃的過濾面積小，導(dǎo)致殘留物容易堵塞，故需要時常維修，導(dǎo)致生產(chǎn)維修(Productive Maintenance，PM)的周期短，且目前濾籃采用單一孔徑的設(shè)計，無法彈性運用各式不同的制程殘留物。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供一種二截式過濾器。其便于拆裝維護，且可具有多種濾籃來因應(yīng)各種不同制程殘留物的尺寸。

本實用新型的一實施例提出一種二截式過濾器，包括一本體、多個過濾籃以及多個蓋體夾固結(jié)構(gòu)。各過濾籃分別設(shè)置于本體之內(nèi)，各過濾籃包括一濾籃本體以及一提把，各提把連接相對應(yīng)的濾籃本體。蓋體夾固結(jié)構(gòu)用以固定相對應(yīng)的過濾籃，各蓋體夾固結(jié)構(gòu)分別包括一蓋體、一壓迫結(jié)構(gòu)、一快拆式夾具以及一鎖固元件。各壓迫結(jié)構(gòu)設(shè)置于蓋體之內(nèi)，且各壓迫結(jié)構(gòu)用以壓制相對應(yīng)的提把。快拆式夾具包括一第一環(huán)體以及一第二環(huán)體，第一環(huán)體與第二環(huán)體分別夾固蓋體的外側(cè)，且憑借鎖固元件以鎖固第一環(huán)體與第二環(huán)體。

在本實用新型的一實施例中，上述快拆式夾具包括一樞接件，第一環(huán)體的一第一樞接端與第二環(huán)體的一第二樞接端分別樞設(shè)于樞接件，使第一環(huán)體與第二環(huán)體分別以樞接件為軸心旋轉(zhuǎn)。第一環(huán)體與第二環(huán)體分別夾固蓋體的外側(cè)時，鎖固元件穿設(shè)第一環(huán)體的一第一固定端以及第二環(huán)體的一第二固定端，以固定第一環(huán)體與第二環(huán)體。

在本實用新型的一實施例中，上述本體包括多個容置部，各容置部包括一容置槽以及一組裝部。各容置槽連通于本體之內(nèi)，各容置槽用以供相對應(yīng)的過濾籃容置，且各容置槽連接相對應(yīng)的組裝部。各組裝部設(shè)置于本體的上。各蓋體包括一凸出部，各凸出部對應(yīng)相對應(yīng)的組裝部。第一環(huán)體與第二環(huán)體分別包括一夾持缺口，夾持缺口固持于各凸出部與相對應(yīng)的組裝部。

在本實用新型的一實施例中，上述各凸出部與相對應(yīng)的組裝部共構(gòu)成一第一傾斜結(jié)構(gòu)。夾持缺口內(nèi)具有一第二傾斜結(jié)構(gòu)，第一傾斜結(jié)構(gòu)與第二傾斜結(jié)構(gòu)相配合。

在本實用新型的一實施例中，上述各蓋體夾固結(jié)構(gòu)包括一墊片，各墊片設(shè)置在各凸出部與相對應(yīng)的組裝部之間。

在本實用新型的一實施例中，上述各壓迫結(jié)構(gòu)包括多個彈性柱以及一圓盤。各彈性柱的一端固定于蓋體的內(nèi)壁，各彈性柱的另一端固定于圓盤，圓盤壓制提把，以固定濾籃本體的位置。

在本實用新型的一實施例中，上述本體內(nèi)包括一上腔體以及與上腔體連通的一下腔體。各濾籃本體設(shè)置于下腔體，各提把位于上腔體內(nèi)。

在本實用新型的一實施例中，上述本體內(nèi)包括多個橫隔板，憑借各橫隔板以將本體區(qū)分成上腔體以及下腔體。