[實用新型]一種晶圓沉積覆蓋環有效
| 申請號： | 202022403622.2 | 申請日： | 2020-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN214271030U | 公開（公告）日： | 2021-09-24 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;邵寅 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 沉積 覆蓋 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述晶圓沉積覆蓋環呈現閉合環狀，所述晶圓沉積覆蓋環的內周面、上表面和外周面均覆蓋有顆粒層，所述顆粒層外側覆蓋有滾花層，所述滾花層為菱形滾花層，且所述菱形滾花層中菱形的邊長為0.5-1.5mm，所述滾花層的滾花深度為0.3-0.6mm。
2.根據權利要求1所述的晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述顆粒層的厚度為1-3mm。
3.根據權利要求1所述的晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述晶圓沉積覆蓋環包括外環罩，所述外環罩位于所述晶圓沉積覆蓋環的下側面，并自所述下側面的外周邊緣向下延伸。
4.根據權利要求3所述的晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述外環罩包括散熱結構，所述散熱結構位于所述外環罩的內側面。
5.根據權利要求4所述的晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述散熱結構為至少2個溝槽，所述溝槽彼此平行并間隔設置，而且環繞于所述外環罩的內側面。
6.根據權利要求3所述的晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述晶圓沉積覆蓋環包括內環罩，所述內環罩位于所述晶圓沉積覆蓋環的下側面，并自所述下側面的中部向下延伸，而且所述內環罩位于所述外環罩的內側。
7.根據權利要求6所述的晶圓沉積覆蓋環，其特征在于，所述晶圓沉積覆蓋環包括下側面凹槽，所述下側面凹槽位于所述晶圓沉積覆蓋環的下側面，并且所述下側面凹槽位于所述內環罩的內側。
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