[實用新型]一種硅基液晶器件

有效

• 申請號: 202022364951.0
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN212905812U
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 李愛源;熊培成;吳梓榮;陳嶸;洪俊斌
• 申請（專利權）人: 深圳秋田微電子股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02F1/1337
• 代理公司: 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙) 44312
• 代理人: 任哲夫

本實用新型提供了一種硅基液晶器件，包括液晶盒和灌入所述液晶盒的液晶層，所述液晶盒包括導電玻璃和襯底，所述導電玻璃和襯底貼合設置，靠近所述導電玻璃設有第一取向層，靠近所述襯底依次設有像素層、反射光柵層及第二取向層，外部通信光垂直入射，依次經過導電玻璃、第一取向層、液晶層，第二取向層、反射光柵層到達像素層反射。反射率決定了硅基液晶器件的插入損耗大小，高反射率硅基液晶器件具有低插入損耗。

技術領域

本實用新型涉及硅基液晶光學領域，尤其是指一種硅基液晶器件。

背景技術

LCOS(Liquid Crystal on Silicon)是一種較成熟的先進技術。它是制作在單晶硅上的LCD新型顯示器，是LCD與CMOS集成電路有機結合的新興技術。LCOS具有高分辨率、反射式成像、低價格的特點。該技術最早出現在上世紀九十年代末期。其首批成型產品是由Aurora Systems公司于2000年開發出的,由于該產品具有高分辨率、高開口率、反射式成像的特點，所以立刻受到了人們高度關注，很多企業開始進行了研究與開發。其中如索尼、JVC、佳能、英特爾、飛利浦、臺聯電等企業。

硅基液晶是一種反射模式的液晶器件，利用像素電極上鍍反射鏡對光進行反射或偏轉，應用領域包括AR/VR眼鏡，光通信WSS等，其中基于WSS的LCOS因為需要降低插入損耗，對反射率有較高要求。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種硅基液晶器件，以解決現有的硅基液晶器件的反射率低，存在插入損耗較高的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：提供一種硅基液晶器件，包括液晶盒和灌入所述液晶盒的液晶層，所述液晶盒包括導電玻璃和襯底，所述導電玻璃和襯底貼合設置，靠近所述導電玻璃設有第一取向層，靠近所述襯底依次設有像素層、反射光柵層及第二取向層，外部通信光垂直入射，依次經過導電玻璃、第一取向層、液晶層，第二取向層、反射光柵層到達像素層反射。

進一步的，所述反射光柵層包括亞波長光柵層，所述亞波長光柵層的折射率為Na。

進一步的，所述亞波長光柵層的材質為Si₃N₄、Si、Ta₂O₅、ZrO₂及TiO₂中的任意一種。

進一步的，所述亞波長光柵層周期尺寸在λ/5-λ之間，λ為入射光波長，所述亞波長光柵層寬度在100nm-1200nm之間，所述亞波長光柵層高度在50nm-1200nm之間。

進一步的，所述反射光柵層包括自上而下設置的第一外圍介質層、亞波長光柵層及第二外圍介質層，所述第一外圍介質層高度為h₂，所述第二外圍介質層高度為h₃，其中，h₂和h₃尺寸范圍為0nm-5000nm，還包括第三外圍介質層，所述第三外圍介質層填充于所述光柵層的空隙區域。