[實用新型]一種清理MOCVD上噴淋頭的工具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022361625.4 | 申請日： | 2020-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN213327825U | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫飛 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州尚勤光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;B08B1/00 |
| 代理公司： | 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 許云峰 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 清理 mocvd 噴淋 工具 | ||
1.一種清理MOCVD上噴淋頭的工具，包括與噴淋頭匹配的圓形支架，所述圓形支架固定在噴淋頭上；其特征在于：所述圓形支架上設(shè)有固定導(dǎo)軌，所述固定導(dǎo)軌上滑動設(shè)有基板，所述基板上設(shè)置有伸縮導(dǎo)軌，所述伸縮導(dǎo)軌的移動軌跡與固定導(dǎo)軌的移動方向在空間上垂直分布；所述伸縮導(dǎo)軌上設(shè)置有刷頭安裝座，所述刷頭安裝座上設(shè)置有與噴淋頭接觸的刷頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工具，其特征在于：所述刷頭安裝座上設(shè)置有向外伸出的握持端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工具，其特征在于：所述握持端由四根棒體組成，四根所述棒體分布在刷頭安裝座的前后左右四個方位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工具，其特征在于：所述圓形支架的邊緣環(huán)形陣列分布有若干個等高的支撐柱，所述支撐柱的上端通過螺絲固定在噴淋頭上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工具，其特征在于：所述基板的側(cè)壁上設(shè)有緩沖件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工具，其特征在于：所述固定導(dǎo)軌的中心線與圓形支架的直徑重合，所述伸縮導(dǎo)軌為多節(jié)伸縮導(dǎo)軌，所述伸縮導(dǎo)軌的伸縮范圍大于或等于噴淋頭的直徑。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
