[實(shí)用新型]一種組合坩堝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022352661.4
• 申請(qǐng)日: 2020-10-21
• 公開（公告）號(hào): CN214572364U
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申富強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海騏杰碳素材料有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B15/10;C30B28/10
• 代理公司: 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

本實(shí)用新型涉及一種組合坩堝，包括堝壁、堝底和托桿上盤，其中，所述堝壁為一中空?qǐng)A筒體；所述堝底插入連接所述堝壁，所述堝底包括圓弧內(nèi)面、外緣面和外緣底面，所述外緣面連接所述堝壁的內(nèi)壁面；所述托桿上盤的上表面連接所述堝壁的端面和所述堝底的外緣底面。本申請(qǐng)只需要更換局部易損件，不需要報(bào)廢整個(gè)坩堝，既達(dá)到安全生產(chǎn)，又有節(jié)省材料降低費(fèi)用的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種熱場(chǎng)裝置，具體涉及到一種單晶硅或多晶硅的制造過程中的一種組合坩堝。

背景技術(shù)

在單晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿著垂直方向從熔體中拉制單晶的方法。在制造設(shè)備中，有一個(gè)部件是石墨坩堝，它是用來承載內(nèi)部的石英坩堝的。在使用過程中，由于石英坩堝和石墨坩堝的膨脹系數(shù)不同，而且硅蒸汽與石墨會(huì)產(chǎn)生侵蝕反應(yīng)的原因，存在石墨坩堝龜裂、侵蝕失強(qiáng)等問題。而且，隨著單晶硅生長(zhǎng)的晶體直徑越來越粗，相應(yīng)的單晶爐的直徑也越做越大，這樣對(duì)熱場(chǎng)的可靠性也要求越來越高。由于石墨坩堝強(qiáng)度的局限性，直徑越大那么其壁厚要求也越大，所以重量很重，而且熱容很高，導(dǎo)致操作笨重，耗能增加，成本提高。

現(xiàn)有技術(shù)的坩堝是整體式的坩堝，放置在托盤上后底下連接托桿上盤，坩堝和托盤是分開式的，在坩堝的底部弧形的位置特別容易破裂損壞，一旦破裂則整個(gè)坩堝必須報(bào)廢，成本很高；此外，坩堝和托盤是兩部分的，托盤的存在增加成本。

因此，現(xiàn)有技術(shù)還有提升的地方。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種組合坩堝，結(jié)構(gòu)可靠、產(chǎn)品質(zhì)量一致，以解決現(xiàn)有的技術(shù)問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案：

一種組合坩堝，包括堝壁和堝底，其中，所述堝壁為一中空?qǐng)A筒體；所述堝底插入連接所述堝壁。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述堝底包括圓弧內(nèi)面、外緣面和外緣底面，所述外緣面連接所述堝壁的內(nèi)壁面。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述堝壁的中空?qǐng)A筒體是編織結(jié)構(gòu)的或者是實(shí)體結(jié)構(gòu)的。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述堝壁的中空?qǐng)A筒體的編織結(jié)構(gòu)的端口為封邊的或不封邊的，所述堝壁的中空?qǐng)A筒體的編織結(jié)構(gòu)為交叉編織的或螺旋編織的。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述堝壁的中空?qǐng)A筒體的實(shí)體結(jié)構(gòu)為碳碳整體堝壁或拼接堝壁。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，還包括一托桿上盤，所述托桿上盤的上表面連接所述堝壁的端面和所述堝底的外緣底面。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述外緣底面包括一第一底面、一第二底面和一底連接面，所述底連接面的兩端分別連接所述第一底面和第二底面；所述托桿上盤的上表面對(duì)應(yīng)所述第一底面、第二底面和底連接面的位置分別為第一盤面、第二盤面和盤連接面。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述第一底面和所述底連接面的夾角是90度。

本申請(qǐng)較佳實(shí)施例所述的組合坩堝，所述第一盤面和所述堝壁的端面不在一個(gè)平面。

本申請(qǐng)的設(shè)計(jì)理念是，設(shè)計(jì)出一種組合式的坩堝包括堝壁和堝底，組合后直接連接托桿上盤的上端，堝壁和堝底為分開的兩個(gè)部件；又或者是將堝壁分為兩段式，例如分為圓筒部和弧形部，所以在堝底或弧形部損壞時(shí)，只要更換堝底或弧形部就好了，不需要報(bào)廢整個(gè)坩堝，既達(dá)到安全生產(chǎn)，又有節(jié)省材料降低費(fèi)用的效果，提高企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

由于采用了以上的技術(shù)方案，使得本實(shí)用新型具有如下的優(yōu)點(diǎn)效果：

第一、本申請(qǐng)只需要更換局部易損件，不需要報(bào)廢整個(gè)坩堝，既達(dá)到安全生產(chǎn)，又有節(jié)省材料降低費(fèi)用的效果；

第二、本申請(qǐng)結(jié)構(gòu)上少了托盤，材料成本低。