[實用新型]一種晶圓反應腔去膠機的載具構(gòu)件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022328148.1
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN214411144U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發(fā)明（設計）人: 馮嘉荔
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市鴻浩光電半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 廣州正馳知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 44536
• 代理人: 洪安鵬

本實用新型涉及安裝載具技術(shù)領(lǐng)域，具體為一一種晶圓反應腔去膠機的載具構(gòu)件，包括載具臺與承托機構(gòu)；所述的載具臺的兩側(cè)固定有安裝沿；載具臺的上端兩側(cè)轉(zhuǎn)固定裝配有支撐側(cè)板，所述的承托機構(gòu)傳動安裝在兩組支撐側(cè)板之間，本實用新型通過設置一種可移動式安裝的載具構(gòu)件，通過移動安裝的承托機構(gòu)，通過支撐桿在載具臺的上端可調(diào)節(jié)移動，同時通過緊固件將支撐桿固定在支撐側(cè)板的內(nèi)部，使得支撐桿固定支撐側(cè)板的內(nèi)部，通過調(diào)節(jié)安裝板的位置，使得載具臺在去膠機內(nèi)部的位置可以調(diào)節(jié)，能夠有效使得圓晶的加工件在去膠機內(nèi)部的位置可調(diào)節(jié)，有效提高了去膠機的去膠效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及安裝載具技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓反應腔去膠機的載具構(gòu)件。

背景技術(shù)

圓晶反應腔作為去膠機的內(nèi)部反應以及去膠的空間，往往需要在去膠機的內(nèi)部安裝載具構(gòu)件，通過載具構(gòu)件將需要去膠的加工件放置在去膠機的內(nèi)部，通過載具構(gòu)件對加工件進行放置，使得去膠機能夠有效去膠。

傳統(tǒng)的去膠機安裝的載具臺往往固定在去膠機的內(nèi)部，且載具臺往往固不動，通過將加工件放置在載具臺上對通過對工件進行去去膠，然而這種固定式載具臺往往無法移動，加工件的放置的位置往往無法移動，加工的位置單一固定，往往無法有效將圓晶表面的膠體去除。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓反應腔去膠機的載具構(gòu)件固定用加強機構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種晶圓反應腔去膠機的載具構(gòu)件，包括載具臺與承托機構(gòu)；所述的載具臺的兩側(cè)固定有安裝沿；載具臺的上端兩側(cè)轉(zhuǎn)固定裝配有支撐側(cè)板，所述的承托機構(gòu)傳動安裝在兩組支撐側(cè)板之間。

優(yōu)選的，所述的承托機構(gòu)包括安裝板與支撐桿以及緊固件，所述的支撐桿貫穿安裝板且從安裝板的兩側(cè)延伸出來，所述的支撐桿的兩端傳動連接在支撐側(cè)板的內(nèi)部，且支撐桿的兩端螺旋連接有緊固件，所述的緊固件的側(cè)端抵接在所述的支撐側(cè)板的外壁上，所述的支撐桿的兩端還套接有U型架，所述的U型架兩側(cè)外壁抵接在所述的支撐側(cè)板的內(nèi)壁上，且U型架底部與載具臺的上端面貼合，所述的U型架的內(nèi)壁兩側(cè)固定設置連接用的套接件，所述的套接件的內(nèi)部設置有安裝槽，所述的套接件之間通過安裝槽配合裝配有螺桿。

本實用新型還采用如下的技術(shù)方案：

優(yōu)選的，所述的套接件的內(nèi)壁內(nèi)部螺旋連接有螺紋塊，所述的螺紋塊的另一端螺旋套接設置的套筒內(nèi)部，所述的套筒的外部設置有連接桿，所述的套筒與所述的支撐桿的底部外壁固定連接。

本實用新型還采用如下的技術(shù)方案：

優(yōu)選的，所述的支撐桿與U型架之間固定連接有固定桿，所述的固定桿的外壁上設置有安裝栓孔，所述的栓孔內(nèi)部套接有連接桿，所述的U型架的底部上端面設置有安裝件，所述的連接桿一端通過安裝件配合固定在U型架的上端面上。

優(yōu)選的，所述的套接件的底部焊接在所述的U型架的內(nèi)壁上，且所述的螺桿與螺紋塊螺旋延伸至所述的套接件的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述的連接桿的側(cè)端設置有卡接的法蘭盤，所述的法蘭盤卡接在所述的栓孔內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述的載具臺的上端兩側(cè)焊接有安裝沿，所述的支撐側(cè)板固定連接在所述的安裝沿的內(nèi)側(cè)面上，所述的載具臺的兩端設置有固定板，所述的載具臺通過固定板與螺栓件配合安裝。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過設置一種可移動式安裝的載具構(gòu)件，通過移動安裝的承托機構(gòu)，通過支撐桿在載具臺的上端可調(diào)節(jié)移動，同時通過緊固件將支撐桿固定在支撐側(cè)板的內(nèi)部，使得支撐桿固定支撐側(cè)板的內(nèi)部，通過調(diào)節(jié)安裝板的位置，使得載具臺在去膠機內(nèi)部的位置可以調(diào)節(jié)，能夠有效使得圓晶的加工件在去膠機內(nèi)部的位置可調(diào)節(jié)，有效提高了去膠機的去膠效率。