[實用新型]一種晶圓反應腔去膠機的載具構件

有效

• 申請號: 202022328148.1
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN214411144U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 馮嘉荔
• 申請（專利權）人: 廣州市鴻浩光電半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 廣州正馳知識產權代理事務所(普通合伙) 44536
• 代理人: 洪安鵬

1.一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，包括載具臺(10)與承托機構(20)；所述的載具臺(10)的兩側固定有安裝沿(12)；

其特征在于：

載具臺(10)的上端兩側轉固定裝配有支撐側板(11)，所述的承托機構(20)傳動安裝在兩組支撐側板(11)之間。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，其特征在于：所述的承托機構(20)包括安裝板(21)與支撐桿(22)以及緊固件(23)，所述的支撐桿(22)貫穿安裝板(21)且從安裝板(21)的兩側延伸出來，所述的支撐桿(22)的兩端傳動連接在支撐側板(11)的內部，且支撐桿(22)的兩端螺旋連接有緊固件(23)，所述的緊固件(23)的側端抵接在所述的支撐側板(11)的外壁上，所述的支撐桿(22)的兩端還套接有U型架(24)，所述的U型架(24)兩側外壁抵接在所述的支撐側板(11)的內壁上，且U型架(24)底部與載具臺(10)的上端面貼合，所述的U型架(24)的內壁兩側固定設置連接用的套接件(241)，所述的套接件(241)的內部設置有安裝槽，所述的套接件(241)之間通過安裝槽配合裝配有螺桿(242)。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，其特征在于：所述的支撐桿(22)的兩端螺旋連接有緊固件(23)，所述的套接件(241)的內壁內部螺旋連接有螺紋塊(244)，所述的螺紋塊(244)的另一端螺旋套接設置的套筒(243)內部，所述的套筒(243)的外部設置有連接桿，所述的套筒(243)與所述的支撐桿(22)的底部外壁固定連接。

4.根據權利要求2所述的一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，其特征在于：所述的U型架(24)底部與載具臺(10)的上端面貼合，所述的支撐桿(22)與U型架(24)之間固定連接有固定桿(246)，所述的固定桿(246)的外壁上設置有安裝栓孔，所述的栓孔內部套接有連接桿(245)，所述的U型架(24)的底部上端面設置有安裝件，所述的連接桿(245)一端通過安裝件配合固定在U型架(24)的上端面上。

5.根據權利要求2-3任一項所述的一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，其特征在于：所述的套接件(241)的底部焊接在所述的U型架(24)的內壁上，且所述的螺桿(242)與螺紋塊(244)螺旋延伸至所述的套接件(241)的內部。

6.根據權利要求4所述的一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，其特征在于：所述的連接桿(245)的側端設置有卡接的法蘭盤，所述的法蘭盤卡接在所述的栓孔內部。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓反應腔去膠機的載具構件，其特征在于：所述的載具臺(10)的上端兩側焊接有安裝沿(12)，所述的支撐側板(11)固定連接在所述的安裝沿(12)的內側面上，所述的載具臺(10)的兩端設置有固定板(13)，所述的載具臺(10)通過固定板(13)與螺栓件配合安裝。