[實用新型]一種硅片烘干槽

有效

• 申請號: 202022302596.4
• 申請日: 2020-10-16
• 公開（公告）號: CN213454563U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 閆善韻
• 申請（專利權）人: 蘇州林賽自動化科技有限公司
• 主分類號: F26B9/04
• 分類號: F26B9/04;F26B25/00;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種硅片烘干槽，包括箱體，箱體內設有容納硅片的放置槽，放置槽的底部設有漏水孔和凸起結構，放置槽的兩端設有滑桿，滑桿上滑動設有卡接塊，卡接塊的兩端設有凹槽，放置槽的一端設有壓緊板，壓緊板上設有擰緊螺栓，箱體的上端設有風機，風機的一端設有通風管，通風管上設有出風口，箱體的上端設有回風管，回風管上設有泵機。本實用新型與現有技術相比的優點在于：相鄰卡接塊上的凹槽進行配合，對硅片的兩面進行夾緊，滑動設置的卡接塊，在壓緊板的作用下，相互抵持，對不同厚度的硅片進行夾緊固定，固定效果好；硅片上的水沿著漏水孔下落，通過兩端通風管上的通風口進行烘干，紅外線燈進行照射烘烤。

技術領域

本實用新型涉及硅片烘干技術領域，具體是指一種硅片烘干槽。

背景技術

現有的硅片烘干裝置，烘干效果差，容納的硅片較少，需要多次進行烘干，工作效率低；而且只有固定的尺寸才能放進烘干用的卡槽里面，不能根據需要對不同厚度的硅片進行同時的烘干，只能烘干一種尺寸大小的硅片；硅片的固定裝置，都是通過螺桿或者氣缸等結構復雜的裝置進行控制，稍有不慎容易對硅片造成損傷甚至崩碎。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服上述技術的缺陷，提供一種硅片烘干槽。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的技術方案為：一種硅片烘干槽，包括箱體，所述箱體內設有容納硅片的放置槽，所述放置槽的底部設有漏水孔和凸起結構，所述漏水孔與凸起結構交錯設置，所述放置槽的兩端設有滑桿，所述滑桿上滑動設有卡接塊，所述卡接塊的兩端設有容納硅片的凹槽，所述放置槽的一端設有壓緊板，所述壓緊板的上端與滑桿滑動連接，所述壓緊板上設有擰緊螺栓，所述擰緊螺栓貫穿壓緊板與滑桿固定，所述箱體的上端設有風機，所述風機的一端設有通風管，所述通風管設置在放置槽的兩側，所述通風管上設有出風口，所述箱體內設有紅外線燈，所述紅外線燈設置在通風管的上方，所述箱體的上端設有回風管，所述回風管上設有泵機，所述回風管的一端與通風管連通，所述箱體內設有溫濕度傳感器，所述箱體上設有排氣口，所述排氣口處設有排風機，所述箱體的下端設有排水口。

作為改進，所述凸起結構為硅膠材質。

作為改進，所述壓緊板上設有透氣孔。

作為改進，所述壓緊板朝向硅片的一側設有墊條，所述墊條上設有防滑紋路。

作為改進，所述通風管個回風管上均設有開關閥。

作為改進，所述回風管內設有可拆卸的吸濕棉。

本實用新型與現有技術相比的優點在于：結構簡單，使用方便；通過相鄰卡接塊上的凹槽進行配合，對硅片的兩面進行夾緊，滑動設置的卡接塊，在壓緊板的作用下，相互抵持，對不同厚度的硅片進行夾緊固定，固定效果好；硅片上的水沿著漏水孔下落，通過兩端通風管上的通風口進行烘干，紅外線燈進行照射烘烤，烘干效果好。

附圖說明

圖1是本實用新型一種硅片烘干槽的結構示意圖。

圖2是本實用新型一種硅片烘干槽的壓緊板的結構示意圖。

圖3是本實用新型一種硅片烘干槽的相鄰卡接塊的配合示意圖。

圖4是本實用新型一種硅片烘干槽的放置槽的底部示意圖。

如圖所示：1、箱體，2、放置槽，3、漏水孔，4、凸起結構，5、滑桿，6、卡接塊，7、凹槽，8、壓緊板，9、擰緊螺栓，10、風機，11、通風管，12、出風口，13、紅外線燈，14、回風管，15、泵機，16、排氣口，17、溫濕度傳感器，18、排水口，19、吸濕棉，20、排風機，21、透氣孔，22、墊條。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型一種硅片烘干槽做進一步的詳細說明。