[實用新型]一種硅片烘干槽

有效

• 申請號: 202022302596.4
• 申請日: 2020-10-16
• 公開（公告）號: CN213454563U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 閆善韻
• 申請（專利權）人: 蘇州林賽自動化科技有限公司
• 主分類號: F26B9/04
• 分類號: F26B9/04;F26B25/00;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片烘干槽，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)內設有容納硅片的放置槽(2)，所述放置槽(2)的底部設有漏水孔(3)和凸起結構(4)，所述漏水孔(3)與凸起結構(4)交錯設置，所述放置槽(2)的兩端設有滑桿(5)，所述滑桿(5)上滑動設有卡接塊(6)，所述卡接塊(6)的兩端設有容納硅片的凹槽(7)，所述放置槽(2)的一端設有壓緊板(8)，所述壓緊板(8)的上端與滑桿(5)滑動連接，所述壓緊板(8)上設有擰緊螺栓(9)，所述擰緊螺栓(9)貫穿壓緊板(8)與滑桿(5)固定，所述箱體(1)的上端設有風機(10)，所述風機(10)的一端設有通風管(11)，所述通風管(11)設置在放置槽(2)的兩側，所述通風管(11)上設有出風口(12)，所述箱體(1)內設有紅外線燈(13)，所述紅外線燈(13)設置在通風管(11)的上方，所述箱體(1)的上端設有回風管(14)，所述回風管(14)上設有泵機(15)，所述回風管(14)的一端與通風管(11)連通，所述箱體(1)內設有溫濕度傳感器(17)，所述箱體(1)上設有排氣口(16)，所述排氣口(16)處設有排風機(20)，所述箱體(1)的下端設有排水口(18)。

2.根據權利要求1所述的一種硅片烘干槽，其特征在于：所述凸起結構(4)為硅膠材質。

3.根據權利要求1所述的一種硅片烘干槽，其特征在于：所述壓緊板(8)上設有透氣孔(21)。

4.根據權利要求1所述的一種硅片烘干槽，其特征在于：所述壓緊板(8)朝向硅片的一側設有墊條(22)，所述墊條(22)上設有防滑紋路。

5.根據權利要求1所述的一種硅片烘干槽，其特征在于：所述通風管(11)個回風管(14)上均設有開關閥。

6.根據權利要求1所述的一種硅片烘干槽，其特征在于：所述回風管(14)內設有可拆卸的吸濕棉(19)。