[實用新型]一種冷卻式多孔除濕裝置

有效

• 申請號: 202022299250.3
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN213965925U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 章文軍;楊春水;張坤;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;何磊
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: B01D53/26
• 分類號: B01D53/26
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 廖元秋

本實用新型提出的一種冷卻式多孔除濕裝置，包括頂蓋、底蓋、外夾層和多個內管；所述外夾層具有內部圓周面和外部圓周面，在所述外夾層的外部圓周面上分別開設有冷卻介質進口和冷卻介質出口，通過所述冷卻介質進口和冷卻介質出口向外夾層內通入和導出冷卻介質；所述頂蓋和底蓋分別固定安裝于所述外夾層的頂端和底端，由所述頂蓋、底蓋和外夾層圍合形成一容納空間，多個內管均勻分布于該容納空間內，且各內管的兩端分別與所述頂蓋和底蓋連接并在連接處形成孔口，使得氣流通過相應內管；各內管的兩端分別為進氣口和出氣口，且內管內氣流的流動方向與外夾層內冷卻介質的流動方向相反。本裝置結構簡單，適用范圍廣，對管道內壓損影響小。

技術領域

本實用新型提供了一種冷卻式多孔除濕裝置，涉及工業廢氣處理的領域。

背景技術

隨著半導體行業的日益繁榮，產能激增，在生產過程中會產生各種廢氣，這些氣體大多對人體和環境危害嚴重，而在處理廢氣的過程中會產生一些濕氣，這些濕氣會增大工廠管道負荷。因此廢氣處理設備市場需求量非常大，但是由于半導體廠商內部設施及環境的差異，廢氣處理設備也對各類實用的專用裝置有較大需求。

目前，半導體領域常見的除濕設備有離心式除濕設備和碰撞式除濕設備。離心式除濕設備主要是依靠離心力把液體甩向器壁的一種脫水裝置，但是離心式除濕設備的結構較復雜，設備價格昂貴。碰撞式除濕設備主要是氣流撞擊擋板后，液滴被截留再通過裝置收集排出。但是碰撞式除濕設備的壓損較高，設備容易損壞。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服已有技術的不足之處，提供一種冷卻式多孔除濕裝置。本實用新型裝置具有結構簡單、使用范圍廣泛、對管道內壓損影響較小等優點。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種冷卻式多孔除濕裝置，其特征在于，包括頂蓋、底蓋、外夾層和多個內管；所述外夾層具有內部圓周面和外部圓周面，在所述外夾層的外部圓周面上分別開設有冷卻介質進口和冷卻介質出口，通過所述冷卻介質進口和冷卻介質出口向外夾層內通入和導出冷卻介質；所述頂蓋和底蓋分別固定安裝于所述外夾層的頂端和底端，由所述頂蓋、底蓋和外夾層圍合形成一容納空間，多個內管均勻分布于該容納空間內，且各內管的兩端分別與所述頂蓋和底蓋連接并在連接處形成孔口，使得氣流通過相應內管；各內管的兩端分別為進氣口和出氣口，且內管內氣流的流動方向與外夾層內冷卻介質的流動方向相反。

進一步地，各所述內管為錐形管或者直管；當各內管為錐形管時，大口端為進氣口，小口端為出氣口。

本實用新型的特點及有益效果：

本實用新型提出的一種冷卻式多孔除濕裝置，結構簡單，易于實現，可適用于大部分的半導體設備進行除濕。本實用新型裝置利用內管內外的冷卻介質和含濕度氣流間的換熱，將通入內管內氣流所含濕度去除，除濕全過程中，本裝置內無機械碰撞，故對管道內壓損影響小，便于長期使用。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的一種冷卻式多孔除濕裝置的整體結構三維視圖。

圖2為圖1所示除濕裝置的俯視圖。

圖3和圖4分別為圖1所示除濕裝置的主視圖和局部剖視圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步的詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施方式僅僅用以解釋本實用新型，并不限定本實用新型的保護范圍。

為了更好地理解本實用新型，以下詳細闡述本實用新型提出的一種冷卻式多孔除濕裝置的應用實例。