[實用新型]一種激光振鏡光路系統

有效

• 申請號: 202022264583.2
• 申請日: 2020-10-13
• 公開（公告）號: CN213544954U
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 魏美樂;張香香
• 申請（專利權）人: 西安荷佐里機電科技有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G02B26/12
• 代理公司: 西安亞信智佳知識產權代理事務所(普通合伙) 61241
• 代理人: 張西娟

本實用新型關于一種激光振鏡光路系統，設置于一殼體內，包括：入射光線孔、出射光線孔、第一振鏡部，包括第一電機和第一掃描鏡；第一掃描鏡鏡面與出射光線孔所在面之間的夾角介于30°～60°之間；第一掃描鏡用于接收從入射光線孔射入的激光光線，并對該激光光線進行反射；第二振鏡部，包括第二電機和第二掃描鏡；第二掃描鏡鏡面與出射光線孔所在面之間的夾角介于30°～60°之間；第二掃描鏡用于接收經第一掃描鏡反射的激光光線，并將該激光光線從出射光線孔反射出去。本實用新型能減少能量損失，簡化光路，而且能夠減少激光振鏡的安裝體積；以及降低該激光振鏡對安裝位置的要求，從而利于擴展激光振鏡的使用場景。

技術領域

本實用新型實施例涉及激光振鏡技術領域，尤其涉及一種激光振鏡光路系統。

背景技術

振鏡又稱高速掃描振鏡，是一種精度高、速度快、重復性好的光學掃描器，主要用于激光打標、激光打孔、激光刻蝕等激光加工領域，在醫療檢測、圖像處理以及半導體加工等領域也廣泛應用。

在激光振鏡技術領域，現有的光路方案有兩種，而應用最為廣泛的是垂直光路，垂直光路指的是入射光線經過振鏡光路系統后出射光線方向與入射光線方向垂直；該種垂直光路結構，因激光器的出射激光方向與從振鏡光路系統出射的激光方向是垂直的，安裝時，激光器的方向與工作面的方向是垂直的，安裝面積大，使用條件要求高，限制了激光振鏡的使用場景。

另外一種方案是三鏡片反射光路系統，具體是指在光路中加入一個固定反射鏡，入射光線先到達固定反射鏡，再進入振鏡光路系統，形成與入射光線同向的出射光線。例如，在申請號為201320025409.X，名稱為入射激光與出射激光同向的激光振鏡光路系統的專利中，振鏡光路系統包括激光振鏡殼體、第一電機和第二電機，第一電機上安裝有大鏡片，第二電機上安裝有小鏡片，激光振鏡殼體內壁上設有固定反射鏡片，激光振鏡殼體上設有入射光線孔和出射光線孔，出射光線孔上安裝有F-Theta聚焦鏡；第一電機與激光振鏡殼體底面呈-5°～5°的夾角，大鏡片與激光振鏡殼體底面呈25°～65°的夾角，第二電機與激光振鏡殼體底面呈70°～80°的夾角，小鏡片與激光振鏡殼體未設置入射光線孔或出射光線孔的側面呈30°～60°的夾角，固定反射鏡片激光振鏡殼體底面呈40°～50°的夾角。該振鏡光路系統為了使出射光線與入射光線同向，在光路中增加了固定反射鏡，復雜了光路，增大了設備體積，增加了系統的安裝誤差，會造成激光束能量的損失，并且出射激光光線方向單一。

因此，有必要改善上述相關技術方案中存在的一個或者多個問題。

需要注意的是，本部分旨在為權利要求書中陳述的本實用新型的實施方式提供背景或上下文。此處的描述不因為包括在本部分中就承認是現有技術。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的在于提供一種激光振鏡光路系統，進而至少在一定程度上克服由于相關技術的限制和缺陷而導致的一個或者多個問題。

根據本實用新型實施例的第一方面，提供一種激光振鏡光路系統，設置于一殼體內，該系統包括：

入射光線孔，設置于所述殼體一側面；

出射光線孔，設置于與所述入射光線孔相對的所述殼體的另一側面；

第一振鏡部，包括第一電機和第一掃描鏡；

所述第一掃描鏡設置于所述第一電機的端部，且該第一掃描鏡鏡面與所述出射光線孔所在面之間的夾角介于30°～60°之間；所述第一掃描鏡用于接收從所述入射光線孔射入的激光光線，并對該激光光線進行反射；

第二振鏡部，包括第二電機和第二掃描鏡；

所述第二掃描鏡設置于所述第二電機的端部，且該第二掃描鏡鏡面與所述出射光線孔所在面之間的夾角介于30°～60°之間；所述第二掃描鏡用于接收經所述第一掃描鏡反射的所述激光光線，并將該激光光線從所述出射光線孔反射出去；