[實用新型]硅片上料抓取裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022237726.0
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN213445115U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設計）人: 閆善韻
• 申請（專利權）人: 蘇州璞智自動化科技有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 蘇州拓源科佳知識產權代理事務所(普通合伙) 32533
• 代理人: 趙艾亮

本實用新型涉及硅片傳送設備領域，尤其是硅片上料抓取裝置。該抓取裝置包括機臺、硅片花籃、硅片抬升機構、硅片對齊機構、雙移動座線性模組、硅片抓取機構、傳感器、花籃移動機構，所述機臺上安裝有花籃移動機構，花籃移動機構上連接有硅片花籃，機臺下方設有硅片抬升機構，機臺的臺面上設有用于穿過硅片抬升機構的穿孔，機臺上安裝有硅片對齊機構和雙移動座線性模組，雙移動座線性模組位于硅片對齊機構上方。本實用新型通過可移動的硅片花籃將硅片移動至抓取工位。通過硅片抬升機構將硅片從花籃中抬出。通過硅片對齊機構將抬出的硅片拍齊。通過硅片抓取機構將拍齊的硅片抓起然后放入其他設備。本申請?zhí)岣吡斯杵ト〉男省?/p>

技術領域

本實用新型涉及硅片傳送設備領域，尤其是硅片上料抓取裝置。

背景技術

硅片在生產加工的過程中，需要將硅片從硅片花籃中取出，取出的過程中要將硅片全部對齊，然后放進其他設備。但是現(xiàn)有的硅片抓取設備的取料效率較低。

實用新型內容

為了解決背景技術中描述的技術問題，本實用新型提供了一種硅片上料抓取裝置。通過可移動的硅片花籃將硅片移動至抓取工位。通過硅片抬升機構將硅片從花籃中抬出。通過硅片對齊機構將抬出的硅片拍齊。通過硅片抓取機構將拍齊的硅片抓起然后放入其他設備。本申請?zhí)岣吡斯杵ト〉男省?/p>

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種硅片上料抓取裝置，包括機臺、硅片花籃、硅片抬升機構、硅片對齊機構、雙移動座線性模組、硅片抓取機構、傳感器、花籃移動機構，所述機臺上安裝有花籃移動機構，花籃移動機構上連接有硅片花籃，機臺下方設有硅片抬升機構，機臺的臺面上設有用于穿過硅片抬升機構的穿孔，機臺上安裝有硅片對齊機構和雙移動座線性模組，雙移動座線性模組位于硅片對齊機構上方，雙移動座線性模組的兩個滑座上分別安裝有硅片抓取機構，硅片花籃上安裝有傳感器。

具體地，所述硅片抬升機構由硅片頂板組一、連接架一、連接架一升降線性模組組成，連接架一升降線性模組的滑座上固定有兩個以上的連接架一，每個連接架一上固定有硅片頂板組一，硅片頂板組一由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂。

具體地，所述硅片對齊機構由硅片頂板組二、連接架二、缸體、電機、同步輪、同步帶、滑座組成，缸體固定在機臺上，缸體上滑配連接有兩個滑座，兩個滑座上分別固定有兩個連接架二，連接架二上固定有硅片頂板組二，硅片頂板組二由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂，電機的機體固定在缸體上，缸體上轉動連接有兩個同步輪，電機的輸出軸固定在一個同步輪上，兩個同步輪均嚙合在同步帶上，兩個滑座分別固定在同步帶兩側。

具體地，所述雙移動座線性模組由模組缸體、兩個滑座、兩根絲桿、兩個絲桿旋轉電機組成，模組缸體固定在機臺上，兩個絲桿旋轉電機分別固定在模組缸體兩端，模組缸體內轉動連接有兩根相互平行的絲桿，兩根絲桿端頭分別固定在兩個絲桿旋轉電機的輸出軸上，兩個絲桿上均螺紋連接有滾珠螺母，兩個滾珠螺母分別固定在兩個滑座上。

具體地，所述硅片抓取機構由吸板升降線性模組、吸板水平線性模組、吸板組成，吸板升降線性模組的缸體固定在雙移動座線性模組的滑座上，吸板升降線性模組的滑座上固定有吸板水平線性模組，吸板水平線性模組的滑座上固定有數(shù)個相互平行且排列呈直線的吸板，吸板上設有吸孔，吸板底部固定有凸起塊，凸起塊固定在吸板水平線性模組的滑座上，相鄰吸板的凸起塊貼合在一起。

具體地，所述傳感器為對射傳感器，傳感器分別安裝在硅片花籃的兩側板上。

具體地，所述花籃移動機構為水平線性模組，硅片花籃固定在花籃移動機構的滑座上，花籃移動機構的缸體固定在機臺上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提供了一種硅片上料抓取裝置。通過可移動的硅片花籃將硅片移動至抓取工位。通過硅片抬升機構將硅片從花籃中抬出。通過硅片對齊機構將抬出的硅片拍齊。通過硅片抓取機構將拍齊的硅片抓起然后放入其他設備。本申請?zhí)岣吡斯杵ト〉男省?/p>