[實用新型]硅片上料抓取裝置

有效

• 申請號: 202022237726.0
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN213445115U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 閆善韻
• 申請（專利權）人: 蘇州璞智自動化科技有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 蘇州拓源科佳知識產權代理事務所(普通合伙) 32533
• 代理人: 趙艾亮

1.一種硅片上料抓取裝置，其特征在于：包括機臺(1)、硅片花籃(2)、硅片抬升機構(3)、硅片對齊機構(4)、雙移動座線性模組(5)、硅片抓取機構(6)、傳感器(7)、花籃移動機構(8)，所述機臺(1)上安裝有花籃移動機構(8)，花籃移動機構(8)上連接有硅片花籃(2)，機臺(1)下方設有硅片抬升機構(3)，機臺(1)的臺面上設有用于穿過硅片抬升機構(3)的穿孔，機臺(1)上安裝有硅片對齊機構(4)和雙移動座線性模組(5)，雙移動座線性模組(5)位于硅片對齊機構(4)上方，雙移動座線性模組(5)的兩個滑座上分別安裝有硅片抓取機構(6)，硅片花籃(2)上安裝有傳感器(7)。

2.根據權利要求1所述的硅片上料抓取裝置，其特征在于：所述硅片抬升機構(3)由硅片頂板組一(31)、連接架一(32)、連接架一升降線性模組(33)組成，連接架一升降線性模組(33)的滑座上固定有兩個以上的連接架一(32)，每個連接架一(32)上固定有硅片頂板組一(31)，硅片頂板組一(31)由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂。

3.根據權利要求1所述的硅片上料抓取裝置，其特征在于：所述硅片對齊機構(4)由硅片頂板組二(41)、連接架二(42)、缸體(43)、電機、同步輪、同步帶、滑座組成，缸體固定在機臺(1)上，缸體上滑配連接有兩個滑座，兩個滑座上分別固定有兩個連接架二(42)，連接架二(42)上固定有硅片頂板組二(41)，硅片頂板組二(41)由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂，電機的機體固定在缸體上，缸體上轉動連接有兩個同步輪，電機的輸出軸固定在一個同步輪上，兩個同步輪均嚙合在同步帶上，兩個滑座分別固定在同步帶兩側。

4.根據權利要求1所述的硅片上料抓取裝置，其特征在于：所述雙移動座線性模組(5)由模組缸體、兩個滑座、兩根絲桿、兩個絲桿旋轉電機組成，模組缸體固定在機臺(1)上，兩個絲桿旋轉電機分別固定在模組缸體兩端，模組缸體內轉動連接有兩根相互平行的絲桿，兩根絲桿端頭分別固定在兩個絲桿旋轉電機的輸出軸上，兩個絲桿上均螺紋連接有滾珠螺母，兩個滾珠螺母分別固定在兩個滑座上。

5.根據權利要求1所述的硅片上料抓取裝置，其特征在于：所述硅片抓取機構(6)由吸板升降線性模組(61)、吸板水平線性模組(62)、吸板(63)組成，吸板升降線性模組(61)的缸體固定在雙移動座線性模組(5)的滑座上，吸板升降線性模組(61)的滑座上固定有吸板水平線性模組(62)，吸板水平線性模組(62)的滑座上固定有數個相互平行且排列呈直線的吸板(63)，吸板(63)上設有吸孔，吸板(63)底部固定有凸起塊，凸起塊固定在吸板水平線性模組(62)的滑座上，相鄰吸板(63)的凸起塊貼合在一起。

6.根據權利要求1所述的硅片上料抓取裝置，其特征在于：所述傳感器(7)為對射傳感器，傳感器(7)分別安裝在硅片花籃(2)的兩側板上。

7.根據權利要求1所述的硅片上料抓取裝置，其特征在于：所述花籃移動機構(8)為水平線性模組，硅片花籃(2)固定在花籃移動機構(8)的滑座上，花籃移動機構(8)的缸體固定在機臺(1)上。