[實用新型]一種用于CVD涂層設備反應腔體的冷卻罩

有效

• 申請號: 202022235874.9
• 申請日: 2020-10-09
• 公開（公告）號: CN213327824U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 王彤
• 申請（專利權）人: 常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;B66C1/10
• 代理公司: 上海思牛達專利代理事務所(特殊普通合伙) 31355
• 代理人: 丁劍

1.一種用于CVD涂層設備反應腔體的冷卻罩，包括筒體(13)，其特征在于：所述筒體(13)的外側分別固定安裝有吹風通道(1)、插銷桿連桿操作把手(2)、外部散熱孔板(3)、插銷桿連桿操作機構(12)與吊裝孔板固定梁(15)，所述吹風通道(1)的一側固定安裝有吹風進入口(9)，所述吹風進入口(9)的內壁一側固定安裝有翻轉門推桿(10)，所述吹風通道(1)的底部分別固定安裝有支腳(7)與導向固定塊(8)，所述吊裝孔板固定梁(15)的一端分別固定安裝有上吊裝孔板(4)與下吊裝孔板(6)，所述上吊裝孔板(4)的一側安裝有行程開關感應塊(5)，所述筒體(13)的頂部固定安裝有插銷桿固定梁(14)，所述插銷桿固定梁(14)的底部固定安裝有插銷桿套固定塊(17)，所述插銷桿套固定塊(17)上固定安裝有插銷桿套(16)，所述插銷桿套(16)的內部活動安裝有插銷桿(11)，所述插銷桿連桿操作機構(12)內部活動安裝有旋鈕柱塞(18)。

2.根據權利要求1所述的一種用于CVD涂層設備反應腔體的冷卻罩，其特征在于：所述吹風通道(1)的出口孔均勻分布在筒體(13)的內壁上。

3.根據權利要求1所述的一種用于CVD涂層設備反應腔體的冷卻罩，其特征在于：所述筒體(13)的表面預埋有螺桿柱。

4.根據權利要求1所述的一種用于CVD涂層設備反應腔體的冷卻罩，其特征在于：所述插銷桿連桿操作把手(2)與插銷桿連桿操作機構(12)之間采用焊接連接方式。

5.根據權利要求1所述的一種用于CVD涂層設備反應腔體的冷卻罩，其特征在于：所述導向固定塊(8)通過螺絲固定安裝在吹風通道(1)底板預埋的螺母內。