[實用新型]一種高效的閃蒸裝置

有效

• 申請號: 202022094072.0
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN213724907U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 林秋玉;韓永霖;林錦昆;林光維
• 申請（專利權）人: 福建鈺融科技有限公司
• 主分類號: B01D3/06
• 分類號: B01D3/06;B01D3/42
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 蔡曉敏

本實用新型屬于化工設備領域，特別涉及一種高效的閃蒸裝置，包括蒸汽裝置、蒸汽冷凝水裝置、第一蒸汽進口調節閥、閃蒸罐加熱器、第一蒸汽冷凝水排水手閥、閃蒸罐循環泵、閃蒸罐、薄膜蒸發器、第一控制閥、第一殘渣緩存罐、第一殘渣輸送泵、薄膜蒸發器進料泵、超純水裝置、第二蒸汽進口調節閥、第二蒸汽冷凝水排水手閥和回收裝置；有利于提高閃蒸工序的效果和生產效率。

技術領域

本實用新型屬于化工設備領域，特別涉及一種高效的閃蒸裝置。

背景技術

近幾年國內電子制造產業發展迅速，剝離液等電子化學品的使用量也大為增加；通常在液晶顯示面板、半導體集成電路等工藝制造過程中，需要用剝離液將涂覆在微電路保護區域上作為掩膜的光刻膠除去；通常使用的剝離液主要包括有機胺和極性有機溶劑的混合物，并含有以少量水為代表的輕組分；在剝離液應用過程中產生大量剝離液廢液，該廢液中除了含有少量高分子樹脂和水之外，大部分是具有利用價值的有機組分。通常清洗光刻膠需要大量的溶劑，而且這些溶劑價格昂貴，從資源化的觀點出發，循環再生這些溶劑不僅可以減少對環境的危害，還能減低企業的生產成本；剝離液的回收工藝主要包括：閃蒸、去除水分段、光刻膠去除段和精制回收段，即剝離液廢液依次經過水分去除、光刻膠去除和精制會收獲得剝離液。

閃蒸就是高壓的飽和水進入比較低壓的容器中后由于壓力的突然降低使這些飽和水變成一部分的容器壓力下的飽和水蒸氣和飽和水；閃蒸裝置是一種在化工生產過程中實現物料粗略的氣液相分離的化工設備，現有用于剝離液的閃蒸裝置存在使用效果差的問題。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

為了解決現有技術的上述問題，本實用新型提供一種使用效果好的高效的閃蒸裝置。

(二)技術方案

為了達到上述目的，本實用新型采用的主要技術方案包括：

一種高效的閃蒸裝置，包括蒸汽裝置、蒸汽冷凝水裝置、第一蒸汽進口調節閥、閃蒸罐加熱器、第一蒸汽冷凝水排水手閥、閃蒸罐循環泵、閃蒸罐、薄膜蒸發器、第一控制閥、第一殘渣緩存罐、第一殘渣輸送泵、薄膜蒸發器進料泵、超純水裝置、第二蒸汽進口調節閥、第二蒸汽冷凝水排水手閥和回收裝置；所述蒸汽裝置與第一蒸汽進口調節閥的一端相連接，所述第一蒸汽進口調節閥的另一端與閃蒸罐加熱器相連接，所述蒸汽冷凝水裝置與第一蒸汽冷凝水排水手閥的一端相連接，所述第一蒸汽冷凝水排水手閥的另一端與閃蒸罐加熱器相連接，所述第一控制閥的一端與閃蒸罐加熱器相連接，所述第一控制閥的另一端與閃蒸罐循環泵的一端相連接，所述閃蒸罐循環泵的另一端與閃蒸罐加熱器相連接，所述閃蒸罐加熱器與閃蒸罐相連接，所述超純水裝置與閃蒸罐相連接，所述薄膜蒸發器進料泵的一端與第一控制閥相連接，所述薄膜蒸發器進料泵的另一端與薄膜蒸發器相連接，所述薄膜蒸發器通過第二蒸汽進口調節閥與蒸汽裝置相連接，所述蒸汽裝置通過第二蒸汽冷凝水排水手閥與蒸汽冷凝水裝置相連接，所述第一殘渣緩存罐與薄膜蒸發器相連接，所述第一殘渣緩存罐通過第一殘渣輸送泵與回收裝置相連接，所述閃蒸罐與回收裝置相連接。

上述的高效的閃蒸裝置中，所述第一控制閥上設有第一流量計和第一指示報警器，所述第一流量計與第一指示報警器相連接，所述薄膜蒸發器進料泵上設有第一流量指示控制器，所述第一流量指示控制器與第一指示報警器相連接。

上述的高效的閃蒸裝置中，還包括脫輕組分塔，所述脫輕組分塔與閃蒸罐相連接。

上述的高效的閃蒸裝置中，還包括冷凍水回收裝置，所述冷凍水回收裝置與薄膜蒸發器相連接。

上述的高效的閃蒸裝置中，還包括工藝液體裝置，所述工藝液體裝置與第一控制閥相連接。

(三)有益效果