[實用新型]一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的前掃探頭和側掃探頭

有效

• 申請號: 202022072384.1
• 申請日: 2020-09-21
• 公開（公告）號: CN213721911U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 安妍;謝會開;趙暉
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司;佛山光微科技有限公司
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

一種增大MEMS?OCT掃描成像視場角的前掃探頭和側掃探頭，包括光纖1、透鏡2、反射器件3、MEMS微鏡4、第一光學窗口5?1和密閉腔室6，密閉腔室6內填充有液態物質7，MEMS微鏡4浸入液態物質7內，光纖1出射的光線依次通過透鏡2、反射器件3、MEMS微鏡4，經液態物質7到達第一光學窗口5?1折射后射出。優點：通過液體的折射效應，既提高MEMS探頭的掃描視場，同時又通過液體的阻尼效應保護MEMS微鏡。

技術領域

本實用新型涉及的是一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的探頭，屬于醫療機械領域。

背景技術

光學相干斷層掃描技術（Optical Coherence Tomography， OCT）是近年來新興的一種醫學成像技術，它具有無損傷、非介入和高分辨率等優點，且已經廣泛應用于眼科、皮膚等體外疾病的診斷。為實現體內組織成像，現有技術（CN103040428B）已經公開了一種微機電系統（MEMS）與光學相干斷層掃描技術相結合的微型化OCT內窺掃描探頭(外徑≤5mm)，實現了OCT在人體內多種內臟器官或內部組織的無創檢測。而現有MEMS-OCT因受到探頭整體尺寸的限制，MEMS微鏡的掃描范圍比較有限，限制了MEMS-OCT的視場范圍，且OCT探頭中的MEMS微鏡暴露在空氣中，會因水汽的毛細凝聚作用容易發生斷裂。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題是現有MEMS-OCT探頭掃描視場小的技術問題。

本實用新型采用的技術方案：一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的前掃探頭，包括光纖1、透鏡2、反射器件3、MEMS微鏡4、第一光學窗口5-1和密閉腔室6，密閉腔室6內填充有液態物質7，MEMS微鏡4浸入液態物質7內，光纖1出射的光線依次通過透鏡2、反射器件3、MEMS微鏡4，經液態物質7到達第一光學窗口5-1折射后射出。

優選地，所述液態物質7是液體或者液體和納米材料的混合物。

一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭，其特征在于包括光纖1、透鏡2、MEMS微鏡4、第二光學窗口5-2和密閉腔室6，密閉腔室6內填充有液態物質7，MEMS微鏡4浸入液態物質7內，光纖1出射的光線依次通過透鏡2和MEMS微鏡4，經液態物質7到達第二光學窗口5-2折射后射出。

優選地，還包括MEMS封裝體8，該側掃探頭的前端和MEMS封裝8作為所述密閉腔室6的側壁。

優選地，所述液態物質7是液體或者液體和納米材料的混合物。

優選地，所述液態物質7包括第一液態物質7-1和第二液態物質7-2，其中第一液態物質7-1和第二液態物質7-2互不相溶。

優選地，所述密閉腔室6內的液態物質7不填滿。

優選地，所述密閉腔室6位于該側掃探頭內，密閉腔室6上有供光線射入和射出的第三光學窗口5-3和第四光學窗口5-4。

本實用新型的優點：本實用新型的實用新型點是通過液體的折射效應，既提高MEMS探頭的掃描視場，同時又通過液體的阻尼效應保護MEMS微鏡。

附圖說明

圖1是一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的前掃探頭結構示意圖1。

圖2是一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的前掃探頭結構示意圖2。

圖3是圖2的前掃探頭成像視場角的原理示意圖。

圖4是現有MEMS-OCT前掃探頭成像的原理示意圖。

圖5是一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭結構示意圖1。

圖6是一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭結構示意圖2。

圖7是圖6成像視場角的原理示意圖。