[實用新型]一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的前掃探頭和側掃探頭

有效

• 申請號: 202022072384.1
• 申請日: 2020-09-21
• 公開（公告）號: CN213721911U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 安妍;謝會開;趙暉
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司;佛山光微科技有限公司
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

1.一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的前掃探頭，其特征在于包括光纖(1)、透鏡(2)、反射器件(3)、MEMS微鏡(4)、第一光學窗口(5-1)和密閉腔室(6)，密閉腔室(6)內填充有液態物質(7)，MEMS微鏡(4)浸入液態物質(7)內，光纖(1)出射的光線依次通過透鏡(2)、反射器件(3)、MEMS微鏡(4)，經液態物質(7)到達第一光學窗口(5-1)折射后射出。

2.一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭，其特征在于包括光纖(1)、透鏡(2)、MEMS微鏡(4)、第二光學窗口(5-2)和密閉腔室(6)，密閉腔室(6)內填充有液態物質(7)，MEMS微鏡(4)浸入液態物質(7)內，光纖(1)出射的光線依次通過透鏡(2)和MEMS微鏡(4)，經液態物質(7)到達第二光學窗口(5-2)折射后射出。

3.根據權利要求2所述的一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭，其特征在于還包括MEMS封裝體(8)，該側掃探頭的前端和MEMS封裝體(8)作為所述密閉腔室(6)的側壁。

4.根據權利要求2所述的一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭，其特征在于所述液態物質(7)包括第一液態物質(7-1)和第二液態物質(7-2)，其中第一液態物質(7-1)和第二液態物質(7-2)互不相溶。

5.根據權利要求2所述的一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭，其特征在于所述密閉腔室(6)內的液態物質(7)不填滿。

6.根據權利要求2所述的一種增大MEMS-OCT掃描成像視場角的側掃探頭，其特征在于所述密閉腔室(6)位于該側掃探頭內，密閉腔室(6)上有供光線射入和射出的第三光學窗口(5-3)和第四光學窗口(5-4)。