[實(shí)用新型]一種適用于光伏超大硅片的石墨舟有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202021519143.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-07-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN212676229U | 公開(公告)日: | 2021-03-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉世強(qiáng);王斯海;姚騫;王亞楠;王廣華;李冬玫 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 通威太陽能(眉山)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230 | 代理人: | 鄧蕓 |
| 地址: | 620041 四川省*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 適用于 超大 硅片 石墨 | ||
本實(shí)用新型公開了一種適用于光伏超大硅片的石墨舟,用于對(duì)石墨舟進(jìn)行改進(jìn),屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,該石墨舟包括多排連接在一起的石墨舟片,所述石墨舟片上設(shè)有石墨舟槽,所述石墨舟片上設(shè)置有用于固定硅片的卡點(diǎn)組件,所述卡點(diǎn)組件分布在石墨舟槽的四周,所述卡點(diǎn)組件包括底卡點(diǎn)、側(cè)卡點(diǎn)和頂卡點(diǎn),所述側(cè)卡點(diǎn)有兩個(gè)且分設(shè)在石墨舟槽的兩側(cè);本實(shí)用新型通過對(duì)卡點(diǎn)組件進(jìn)行設(shè)計(jì),完美解決了電池片邊緣繞度過重的問題,從而避免了相鄰兩石墨舟片間的硅片接觸到一起,避免了在輝光放電的時(shí)候產(chǎn)生短路,造成停工重工,有效保證了設(shè)備生產(chǎn)的效率和產(chǎn)能,同時(shí)降低了生產(chǎn)員工的勞動(dòng)強(qiáng)度。
技術(shù)領(lǐng)域
一種適用于光伏超大硅片的石墨舟,屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,特別涉石墨舟技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
在管式PECVD中,需要通過石墨舟承載硅片進(jìn)入爐管中進(jìn)行工藝,石墨舟是由多片石墨舟葉組成,在每片石墨舟葉上安裝有多個(gè)石墨卡點(diǎn)對(duì)硅片進(jìn)行固定。
目前由于生產(chǎn)的電池片規(guī)格在158.75mm~166mm,使用3個(gè)卡點(diǎn)就可以將一片硅片固定在舟葉上,保證舟葉與硅片的貼合度,控制石墨舟攜帶硅片進(jìn)入爐管工藝后在硅片邊緣所產(chǎn)生的繞度。
隨著制造商對(duì)電池片規(guī)格的拓展、開發(fā),電池片規(guī)格越做越大,在技術(shù)上不斷突破,通過制造大規(guī)格的電池片以達(dá)到增效降本的目的。但因?yàn)榇蠊杵闹亓吭龃蟆⒚娣e變大導(dǎo)致使用3卡點(diǎn)時(shí)無法使硅片與舟葉有良好的貼合關(guān)系,導(dǎo)致在工藝后邊緣繞度過重,影響電池片的效率;并且由于貼合不好,致使電池片的翹度過大,使得硅片在傳送過程中掉落成為碎片,或是掉出一半導(dǎo)致在爐管中進(jìn)行工藝的時(shí)候產(chǎn)生高頻,影響產(chǎn)量和不良率。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于:提供一種適用于光伏超大硅片的石墨舟,通過對(duì)卡點(diǎn)組件進(jìn)行設(shè)計(jì),完美解決了電池片邊緣繞度過重的問題,使硅片與石墨舟片間的貼合更好,避免了相鄰兩石墨舟片間的硅片接觸到一起,避免了在輝光放電的時(shí)候產(chǎn)生短路,造成停工重工,有效保證了設(shè)備生產(chǎn)的效率和產(chǎn)能,同時(shí)降低了生產(chǎn)員工的勞動(dòng)強(qiáng)度。
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
一種適用于光伏超大硅片的石墨舟,包括多排連接在一起的石墨舟片,所述石墨舟片上設(shè)有多個(gè)石墨舟槽,所述石墨舟片上設(shè)置有用于固定硅片的卡點(diǎn)組件,所述卡點(diǎn)組件分布在石墨舟槽的四周,所述卡點(diǎn)組件包括底卡點(diǎn)、側(cè)卡點(diǎn)和頂卡點(diǎn),所述側(cè)卡點(diǎn)有兩個(gè)且分設(shè)在石墨舟槽的兩側(cè)。
作為優(yōu)選,所述底卡點(diǎn)至少設(shè)有兩個(gè)。
作為優(yōu)選,所述頂卡點(diǎn)設(shè)在石墨舟槽的頂部邊緣。
作為優(yōu)選,兩個(gè)所述的側(cè)卡點(diǎn)不處于同一水平高度,其中,一個(gè)側(cè)卡點(diǎn)位于石墨舟槽一側(cè)的上部,另一個(gè)側(cè)卡點(diǎn)位于石墨舟槽另一側(cè)的下部。
綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型的有益效果是:
1.本實(shí)用新型通過對(duì)卡點(diǎn)組件進(jìn)行設(shè)計(jì),在對(duì)電池片進(jìn)行固定時(shí),兩個(gè)底卡點(diǎn)將硅片托起,均勻地承載分擔(dān)硅片的重量,兩個(gè)側(cè)卡點(diǎn)分別對(duì)硅片的兩側(cè)進(jìn)行固定,防止兩側(cè)出現(xiàn)翹度,同時(shí)頂卡點(diǎn)的存在將對(duì)硅片的頂部進(jìn)行約束,可控制硅片的上邊緣的翹度,因此本實(shí)用新型解決了在固定大規(guī)格硅片的時(shí)候無法控制硅片的翹度而產(chǎn)生嚴(yán)重的繞度,使硅片與石墨舟片間的貼合更好。
2.本實(shí)用新型通過對(duì)卡點(diǎn)組件進(jìn)行設(shè)計(jì),完美解決了電池片邊緣繞度過重的問題,從而避免了相鄰兩石墨舟片間的硅片接觸到一起,避免了在輝光放電的時(shí)候產(chǎn)生短路,造成停工重工,有效保證了設(shè)備生產(chǎn)的效率和產(chǎn)能,提高產(chǎn)品A級(jí)率,同時(shí)降低了生產(chǎn)員工的勞動(dòng)強(qiáng)度。
附圖說明
本實(shí)用新型將通過例子并參照附圖的方式說明,其中:
圖1是現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





