[實用新型]一種蒸鍍源

有效

• 申請號: 202021505064.4
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN212864943U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 鄭沂;林志斌
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

本實用新型涉及一種蒸鍍源，包括本體、填料腔和噴嘴，所述填料腔設置在所述本體內，用于放置蒸鍍材料，所述噴嘴設置在所述填料腔的上方的本體處并與所述填料腔連通，還包括加熱攪拌裝置，所述加熱攪拌裝置設置在所述填料腔中，所述加熱攪拌裝置包括電機、加熱組件和加熱組件保護殼；所述電機設置在填料腔下方的本體處，所述電機的轉軸與所述加熱組件的底部連接，所述加熱組件設置在所述填料腔中；所述加熱組件保護殼設置在加熱組件的外壁上，加熱組件保護殼為突出結構，所述加熱組件用于加熱填料腔內的蒸鍍材料。上述技術方案將加熱組件及加熱組件外殼與電機進行配合，使蒸鍍材料均勻受熱，防止蒸鍍材料的局部過熱導致噴發。

技術領域

本實用新型涉及OLED技術領域，尤其涉及一種蒸鍍源。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode,OLED)又稱有機電激發光顯示器(Organic Electroluminescence Display,OELD)是當今顯示技術領域中非常具有發展前景的一種技術，具有自發光性、廣視角、高對比、高響應速率和低功耗等優勢。

蒸鍍就是其中很關鍵的制程工藝，蒸鍍過程就是在不同的蒸發源中裝填所需RGB結構材料，通過加熱，使材料升華氣化，跑出蒸鍍源外，蒸鍍到基板上。現有技術中，蒸鍍源內的填料腔用于裝填蒸鍍材料(有機材料)，通過對蒸鍍材料進行加熱，使得材料升華逸出蒸鍍源鍍到基板上。蒸鍍過程中，蒸鍍材料在加熱時受熱不均勻，造成蒸鍍材料的局部結塊，影響蒸鍍的速率與膜層的均勻性。

實用新型內容

為此，需要提供一種蒸鍍源，解決蒸鍍源內的蒸鍍材料在蒸鍍時鍍率不穩定的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種蒸鍍源，包括本體、填料腔和噴嘴，所述填料腔設置在所述本體內，用于放置蒸鍍材料，所述噴嘴設置在所述填料腔的上方的本體處并與所述填料腔連通，還包括加熱攪拌裝置，所述加熱攪拌裝置設置在所述填料腔中，所述加熱攪拌裝置包括電機、加熱組件和加熱組件保護殼；

所述電機設置在填料腔下方的本體處，所述電機的轉軸與所述加熱組件的底部連接，所述加熱組件設置在所述填料腔中；

所述加熱組件保護殼設置在加熱組件的外壁上，加熱組件保護殼為突出結構，所述加熱組件用于加熱填料腔內的蒸鍍材料。

進一步地，所述加熱組件具有多個加熱單元，多個的所述加熱單元位于不同的高度。

進一步地，還包括溫度監控裝置，所述溫度監控裝置設置在填料腔側壁外的本體處，用于監控填料腔內的溫度。

進一步地，所述溫度監控裝置為多個，多個的所述溫度監控裝置分布在不同高度處。

進一步地，所述加熱組件保護殼為耐高溫的金屬合金。

進一步地，所述金屬合金如鈦合金或者鉭合金。

區別于現有技術，上述技術方案將加熱組件及加熱組件外殼與電機進行配合，當電機的轉軸進行旋轉時，能夠帶動加熱組件與加熱組件外殼以一定速率進行順時針或者逆時針轉動，從而攪動蒸鍍材料。使蒸鍍材料均勻受熱，防止蒸鍍材料的局部過熱導致噴發，進一步維持光學器件中成膜層的均勻性。

附圖說明

圖1為本實施例所述蒸鍍源的剖面結構示意圖。

附圖標記說明：

1、填料腔；

2、電機；

3、加熱組件；

4、加熱組件保護殼；

5、溫度監控裝置；

6、蒸鍍材料；

7、噴嘴。

具體實施方式