[實用新型]一種多晶硅還原爐的熱能利用系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021309810.2
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN212673863U
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭海洪
• 申請（專利權(quán)）人: 新疆大全新能源股份有限公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00;F27D19/00;F22B3/04
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 孟阿妮;張小勇

本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅還原爐的熱能利用系統(tǒng)，其包括:還原爐、高溫水循環(huán)泵、閃蒸罐和控制系統(tǒng)；還原爐的出水口與總管一連通；多個閃蒸罐并列設(shè)置；多個閃蒸罐之間設(shè)置有連通管；閃蒸罐依次通過支管一和總管一與還原爐連通；閃蒸罐的出水口連接有支管二；支管二通過總管二與高溫水循環(huán)泵的入口連通；高溫水循環(huán)泵的出口與還原爐的進(jìn)水口連通；支管一上設(shè)置有壓力傳感構(gòu)件；支管一上設(shè)置有調(diào)節(jié)閥；控制系統(tǒng)與壓力傳感構(gòu)件連接，以采集支管一內(nèi)的壓力信息；控制系統(tǒng)與調(diào)節(jié)閥連接，以進(jìn)行控制。采用本實用新型能夠增加閃蒸的容積，且系統(tǒng)簡單。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅還原爐的熱能利用系統(tǒng)。

背景技術(shù)

多晶硅是一種超高純材料，用于集成電路、電子器件和太陽能電池領(lǐng)域。在多晶硅生產(chǎn)中，成本控制是盈利的關(guān)鍵，目前，主要是通過降低還原爐的電耗及余熱的綜合利用。在多晶硅生產(chǎn)中，換熱后的鐘罩高溫水、尾氣夾套高溫水匯總至水系統(tǒng)，經(jīng)過壓力調(diào)節(jié)閥進(jìn)入一個低壓的高溫水閃蒸罐，將高溫?zé)崴糠轃崃哭D(zhuǎn)變?yōu)?.3Mpa蒸汽的潛熱，閃蒸罐內(nèi)進(jìn)行汽液分離；閃蒸罐頂部的蒸汽輸送至蒸汽管網(wǎng)供其它設(shè)備使用；閃蒸罐底部的飽和熱水經(jīng)高溫水泵送至還原爐鐘罩、尾氣夾套循環(huán)冷卻設(shè)備，帶走熱量。

高溫水在閃蒸罐內(nèi)降壓閃蒸，需要足夠的汽液分離空間。由于多晶硅生產(chǎn)規(guī)模化，以高產(chǎn)能配置單個廠房生產(chǎn)線，如2～3萬噸一條生產(chǎn)線，鐘罩、夾套高溫水循環(huán)量過大，則需要閃蒸罐的容積較大。但是，由于受設(shè)備安裝空間、設(shè)備運輸及制造費用的影響，目前，行業(yè)內(nèi)多會建成多套閃蒸系統(tǒng)，以解決容積問題。但是，每個閃蒸系統(tǒng)有各自的高溫水回水管線，各自的高溫水上水管線，管線鋪設(shè)占管廊較大空間，而且每個閃蒸系統(tǒng)有備用水泵，多套閃蒸系統(tǒng)建設(shè)費用高，并且運行控制繁瑣。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型提供一種多晶硅還原爐的熱能利用系統(tǒng)，主要目的在于增加閃蒸的容積，減少建成多套小型閃蒸容積的費用，且系統(tǒng)簡單，操作控制簡便。

為達(dá)到上述目的，本實用新型主要提供如下技術(shù)方案：

本實用新型的實施例提供一種多晶硅還原爐的熱能利用系統(tǒng)，包括:還原爐、高溫水循環(huán)泵、閃蒸罐和控制系統(tǒng)；

所述還原爐的出水口與總管一連通；

所述閃蒸罐為多個；多個所述閃蒸罐并列設(shè)置；多個所述閃蒸罐之間設(shè)置有連通管，以使多個所述閃蒸罐的液位保持平衡；所述閃蒸罐的進(jìn)液口與支管一的一端連接，所述支管一的另一端與所述總管一連接；所述閃蒸罐依次通過所述支管一和所述總管一與所述還原爐連通；所述支管一為多個；多個所述支管一與多個所述閃蒸罐一一對應(yīng)設(shè)置；

所述閃蒸罐的出水口連接有支管二；所述支管二為多個；多個所述支管二與多個所述閃蒸罐一一對應(yīng)設(shè)置；所述支管二通過總管二與所述高溫水循環(huán)泵的入口連通；所述高溫水循環(huán)泵的出口與所述還原爐的進(jìn)水口連通；

所述支管一上設(shè)置有壓力傳感構(gòu)件，以采集所述支管一內(nèi)的壓力信息；

所述支管一上設(shè)置有調(diào)節(jié)閥，以調(diào)節(jié)所述支管一內(nèi)的液體壓力；

所述控制系統(tǒng)與所述壓力傳感構(gòu)件連接，以采集所述支管一內(nèi)的壓力信息；

所述控制系統(tǒng)與所述調(diào)節(jié)閥連接，以進(jìn)行控制。

進(jìn)一步地，所述壓力傳感構(gòu)件為壓力遠(yuǎn)傳表。

進(jìn)一步地，所述高溫水循環(huán)泵為兩個；兩個所述高溫水泵并列設(shè)置；

兩個所述高溫水循環(huán)泵的入口相互連通；兩個所述高溫水循環(huán)泵的出口相互連通。

進(jìn)一步地，所述高溫水循環(huán)泵為多個；多個所述高溫水泵并列設(shè)置；

多個所述高溫水循環(huán)泵的入口相互連通；多個所述高溫水循環(huán)泵的出口相互連通。