[實用新型]一種化學過濾器

有效

• 申請號: 202021303976.3
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN213492834U
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 楊政諭;高艷楠
• 申請（專利權）人: 亞翔系統集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B01D53/02
• 分類號: B01D53/02;G01D21/02
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

本實用新型公開了一種化學過濾器，包括框架和過濾單元，還包括檢測機構，所述檢測機構包括由腐蝕試片A、腐蝕試片B、電阻R₁、電阻R₂組成的惠斯通電橋，且腐蝕試片A和電阻R₁組成一支路，腐蝕試片B和電阻R₂組成另一支路；該惠斯通電橋的檢流計為電壓表或電流表；所述電阻R₁、電阻R₂相等；所述腐蝕試片A設于所述過濾單元的上游入口處，所述腐蝕試片B設于所述過濾單元的下游出口處。本實用新型的化學過濾器大大提高了檢測的靈敏度。

技術領域

本實用新型涉及送風過濾領域，具體涉及一種能檢測腐蝕性氣體、氨氣以及VOC的化學過濾器。

背景技術

化學過濾器能夠有效去除潔凈室和相關受控環境中的各類有害氣體，如腐蝕性氣體。過濾材料采用特殊浸漬處理的顆粒活性炭、或離子交換樹酯、高氧化性能的微球吸附劑，針對性強，吸附后不易解析，不產生二次污染。化學過濾器一般配合FFU使用，化學過濾器安裝于FFU的入風口處，以對通過FFU送入潔凈空間的空氣進行氣體過濾與凈化。

現有技術中，通常采用點監測的方法實時監測潔凈空間中的腐蝕性氣體，即對潔凈空間中布置多個采樣點，然后將采集到的氣體通過管路送至分析設備，分析設備對氣體進行分析以測定氣體中是否含有腐蝕性氣體，如含有，則及時停止采樣點所在位置的機臺的工作，防止產品被污染。

然而，在潔凈空間中布置多個采樣點并且通過管路采樣然后進行氣體分析存在以下缺陷：首先，受限于管路的長度，對于大面積的廠房無法做到采樣點的全面覆蓋，無法做到全面監測；其次，由于每臺分析設備連接多個不同的采樣點，分析設備中會殘留有前道分析的氣流，無法保證后道分析氣體的純度，監測不準確；再次，由于每臺分析設備可以連接的管路是有限的，所以連接的采樣點也是有限的，需要配備多臺分析設備，分析設備儀器昂貴，成本高。綜上所述，采用點監測的方法，很難做到監測的全面性和準確性且成本高昂。

因此開發一種能夠實現腐蝕性氣體檢測的全面性和準確性且節省成本的化學過濾器成為了本領域的急需技術。對此，中國實用新型專利201821266741.4公開了一種能檢測腐蝕性氣體的化學過濾器，其主要原理是利用與流經化學過濾器通道結構的腐蝕性氣體接觸的腐蝕試片和腐蝕性氣體發生反應而導致電阻變化，然后用檢測單元檢測該腐蝕試片的電性能參數，從而判斷化學過濾器內是否有腐蝕性氣體通過。

然而，實際應用發現，上述化學過濾器存在如下應用缺點：(1)該專利技術僅能測知有無腐蝕氣體通過及通過的腐蝕性氣體的濃度變化趨勢，并無法知道化學過濾器的使用壽命狀況；(2)除了常見的腐蝕性氣體，一些更微量的有害氣體(如氨氣、VOC)因含量更少而無法被檢測出。

因此，開發一種高檢測靈敏度的化學過濾器，顯然具有更佳的現實意義。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種高檢測靈敏度的化學過濾器。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種化學過濾器，包括框架和過濾單元，還包括檢測機構，所述檢測機構包括由腐蝕試片A、腐蝕試片B、電阻R₁、電阻R₂組成的惠斯通電橋，且腐蝕試片A和電阻R₁組成一支路，腐蝕試片B和電阻R₂組成另一支路；該惠斯通電橋的檢流計為電壓表或電流表；

所述電阻R₁、電阻R₂相等；

所述腐蝕試片A設于所述過濾單元的上游入口處，所述腐蝕試片B設于所述過濾單元的下游出口處。