[實用新型]一種晶圓切割裝置有效
| 申請號： | 202021303759.4 | 申請日： | 2020-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN213971950U | 公開（公告）日： | 2021-08-17 |
| 發明（設計）人： | 張保根 | 申請（專利權）人： | 頎中科技（蘇州）有限公司;合肥頎中封測技術有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 胡彭年 |
| 地址： | 215000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 切割 裝置 | ||
1.一種晶圓切割裝置，其特征在于，包括：
切割槽，其上設置有進水口和出水口且所述進水口的高度高于所述出水口；
設置在所述切割槽內的放置平臺；
驅動機構，驅動所述放置平臺上下移動。
2.根據權利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述驅動機構具有驅動氣缸和連接桿，所述驅動氣缸設置在所述放置平臺的下側并通過所述連接桿與所述放置平臺連接固定。
3.根據權利要求2所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述驅動機構設置在所述切割槽的外側，所述切割槽的槽底板上設置有與所述連接桿滑動配合的連接桿穿孔，所述連接桿穿孔的內側壁上設置有與所述連接桿相適配的槽體密封件。
4.根據權利要求3所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述出水口設置在所述槽底板上。
5.根據權利要求3所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述切割槽還具有沿所述槽底板環形設置的側壁板，所述晶圓切割裝置具有控制所述槽底板沿著所述側壁板上下滑動的移動控制單元。
6.根據權利要求5所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述進水口和所述出水口設置在所述側壁板上且所述進水口和所述出水口設置在所述放置平臺的相對兩側；
所述槽底板傾斜設置且當所述槽底板的第一端滑動到與所述進水口位置相對時，所述槽底板的第二端與所述出水口位置相對。
7.根據權利要求5所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述移動控制單元與所述驅動機構同側設置。
8.根據權利要求5所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述移動控制單元設置有兩個，兩個所述移動控制單元對稱設置在所述驅動機構的兩側。
9.根據權利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述放置平臺與所述切割槽的側壁板之間設置有間隙部。
10.根據權利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于：所述放置平臺上設置有用于封堵所述進水口的封堵件。
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