[實用新型]線切割裝置及硅棒加工設備

有效

• 申請號: 202021106704.4
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN212554514U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 蘇靜洪;吳張琪;梁文;盧建偉;潘雪明;曹奇峰;錢春軍
• 申請（專利權）人: 天通日進精密技術有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 上海巔石知識產權代理事務所(普通合伙) 31309
• 代理人: 張明;王再朝

1.一種硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，所述硅棒加工設備包括：機座，具有硅棒加工平臺；硅棒承載裝置，設于所述硅棒加工平臺上，用于承載待切割硅棒；所述線切割裝置包括：

切割架，設于所述機座；

至少一線切割單元，活動設于所述切割架；所述線切割單元包括：

沿第一方向依序設置的多個切割輪，每一個切割輪上具有至少兩個切割線槽；

切割線，順次繞于所述多個切割輪以形成至少一切割線鋸；至少一調距機構，設于所述至少一線切割單元上，用于驅動所述至少一線切割單元中多個切割輪沿第二方向移動，以調整所述至少一線切割單元中至少一線割線鋸的切割位置、或者變換切割線繞于所述至少一線切割單元中多個切割輪的切割線槽。

2.根據權利要求1所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，所述至少一線切割單元還包括至少一過渡輪，每一個過渡輪具有至少兩個導線槽；其中，通過所述至少一調距機構驅動所述至少一線切割單元中多個切割輪沿第二方向移動時，所述至少一線切割單元中的至少一過渡輪與多個切割輪保持相對靜止。

3.根據權利要求1所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，屬于同一線切割單元中的多個切割輪以兩兩配對的方式形成至少兩個切割輪組，在相鄰兩個切割輪組中相鄰兩個切割輪之間還設有過渡輪，所述過渡輪具有至少兩個導線槽，所述切割順次繞于所述切割輪和過渡輪上以在每一個切割輪組中的兩個切割輪之間形成一個切割線鋸，其中，所述切割線在繞于所述相鄰兩個切割輪組中相鄰兩個切割輪時由前一個切割輪組中在后的一個切割輪的切割線槽穿出并經由所述過渡輪的導線槽之后穿進后一個切割輪組中在前的一個切割輪的切割線槽；其中，通過所述至少一調距機構驅動所述至少一線切割單元中多個切割輪沿第二方向移動時，所述至少一線切割單元中的至少一過渡輪與多個切割輪保持相對靜止。

4.根據權利要求1所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，屬于同一線切割單元中的多個切割輪包括首切割輪、尾切割輪、以及位于所述首切割輪和尾切割輪之間的至少一中間切割輪，在所述至少一中間切割輪的旁側還設有過渡輪，所述過渡輪具有至少兩個導線槽，所述切割線順次纏繞于所述切割輪和過渡輪以在任意相鄰的兩個切割輪上形成一個切割線鋸，其中，所述切割線在纏繞于所述中間切割輪時，由所述中間切割輪上至少兩個切割線槽中的一切割線槽穿出并經由旁側的所述過渡輪之后由所述中間切割輪上至少兩個切割線槽中的另一切割線槽穿進，從而使得任意相鄰兩個切割線鋸之間在第二方向上具有一切割偏移量，所述切割偏移量對應于相關的兩個切割線槽之間的間距；其中，通過所述至少一調距機構驅動所述至少一線切割單元中多個切割輪沿第二方向移動時，所述至少一線切割單元中的至少一過渡輪與多個切割輪保持相對靜止。

5.根據權利要求2-4中任一項所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，屬于同一線切割單元中的多個切割輪設于沿第一方向設置的安裝梁上，所述至少一過渡輪通過支架設于所述安裝梁上。

6.根據權利要求1所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，包括單線切割單元；所述調距機構包括：絲桿，沿第二方向設置且與所述單線切割單元螺紋連接；驅動源，用于驅動所述絲桿轉動。

7.根據權利要求1所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，包括單線切割單元；所述調距機構包括：伸縮件，沿第二方向設置且與所述單線切割單元關聯；驅動源，用于驅動所述伸縮件沿第二方向作伸縮運動。

8.根據權利要求1所述的硅棒加工設備的線切割裝置，其特征在于，包括單線切割單元；所述調距機構包括：齒條，沿第二方向設置于所述單線切割單元；傳動齒輪，與所述齒條嚙合；驅動源，用于驅動所述傳動齒輪轉動。