[實用新型]一種巨量轉移激光剝離裝置

有效

• 申請號: 202021066903.7
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN212599670U
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 蔣光平;許時淵
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/04;B23K26/70;H01L33/00
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 徐凱凱;吳志益

本實用新型提供了一種巨量轉移激光剝離裝置，包括控制組件、激光器、固定外殼、致動器和聚光鏡片。控制組件包括處理器、激光調制電路和掃描驅動電路，激光器的出射端設置有光纖；固定外殼固定設置；致動器固定設置于固定外殼，致動器與掃描驅動電路相連；聚光鏡片固定設置于固定外殼的前端；光纖固定于致動器并伸出致動器朝向所述聚光鏡片的一端形成懸臂自由端，懸臂自由端位于致動器和聚光鏡片之間。致動器產生高頻振動后帶動懸臂自由端擺動，經過聚光鏡片的聚光作用得到按照一定規律運動的光斑，光斑聚焦在特定位置時，就能夠將微型發光二極管從暫存基板上剝離，整個巨量轉移激光剝離裝置具有結構簡單且精準度高等優點。

技術領域

本實用新型涉及LED技術領域，涉及一種巨量轉移激光剝離裝置，同時，還涉及一種結構簡單且精準度高的巨量轉移激光剝離裝置。

背景技術

微型發光二極管具有比一般發光二極管更理想的光電效率、亮度和對比度以及更低功耗。多個微型發光二極管裝載入發光背板上，形成微型發光二極管陣列。在生長基板上形成微型發光二極管后，一般需要先將轉移至暫存基板上，需要將微型發光二極管裝入發光背板時，再將微型發光二極管從暫存基板轉移至發光背板。微型發光二極管通過粘合層固定于暫存基板上，而將微型發光二極管與暫存基板二者分離的過程，業界稱之為剝離。一般地，剝離階段所采用的關鍵設備為激光剝離裝置。

現有技術中的激光剝離裝置采用振鏡掃描方式進行剝離，通過控制X軸和Y軸的反射鏡來控制光斑的位置，結合兩個掃描鏡對光線進行反射，再通過兩個振鏡控制兩塊掃描鏡的反射角度，從而達到控制入射光束到場鏡到角度，進而控制光斑的焦點位置。然而，現有技術中的是激光剝離裝置是一種高度復雜、高度精密的設備，對外界的振動、應力及馬達的精度特別敏感，故很難實現精確控制光斑的軌跡。同時，此類激光剝離裝置的體積龐大，系統繁瑣，存在操作不便和維修困難的問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種巨量轉移激光剝離裝置，能夠將微型發光二極管從暫存基板上剝離，具有結構簡單且精準度高等優點。

本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下：

一種巨量轉移激光剝離裝置，包括：

控制組件，所述控制組件包括處理器、激光調制電路和掃描驅動電路，所述處理器分別與所述激光調制電路和所述掃描驅動電路相連；

激光器，所述激光器與所述激光調制電路相連，所述激光器的出射端設置有光纖；

固定外殼，所述固定外殼固定設置，所述固定外殼起到結構支撐作用；

致動器，所述致動器固定設置于所述固定外殼，所述致動器與所述掃描驅動電路相連；

聚光鏡片，所述聚光鏡片固定設置于所述固定外殼的前端；所述光纖固定于所述致動器并伸出所述致動器朝向所述聚光鏡片的一端形成懸臂自由端，所述懸臂自由端位于所述致動器和所述聚光鏡片之間。

與現有技術相比，本技術方案的有益效果是：通過控制組件控制激光器發出激光和控制致動器振動，一方面，激光從懸臂自由端出射，另一方面，致動器產生高頻振動后帶動懸臂自由端擺動，經過聚光鏡片的聚光作用得到按照一定規律運動的光斑，光斑聚焦在特定位置時，就能夠將微型發光二極管從暫存基板上剝離，整個巨量轉移激光剝離裝置具有結構簡單且精準度高等優點。

進一步地，所述固定外殼內還設置有一固定連接件，所述固定連接件為環狀結構，所述致動器套設于所述固定連接件的內環內，所述致動器通過所述固定連接件固定設置于所述固定外殼內。

采用上述方案的有益效果是：在固定外殼內設置有固定連接件，通過固定連接件能夠更好地將致動器固定設置于固定外殼內，使得致動器的穩定性更好。

進一步地，所述激光器為紫外激光器。