[發明專利]一種籽晶連接結構

有效

• 申請號: 201610542446.6
• 申請日: 2016-07-11
• 公開（公告）號: CN106048714B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 王文;張建玉;羅平;趙巖;王慶國;劉建興;董建樹;韓建峰;莊大偉;徐軍
• 申請（專利權）人: 上海國晶和泰新材料科技有限公司
• 主分類號: C30B15/34
• 分類號: C30B15/34;C30B29/20
• 代理公司: 上海世貿專利代理有限責任公司31128
• 代理人: 嚴新德

技術領域

本發明涉及物理領域，尤其涉及半導體技術，特別涉及藍寶石晶體生長，具體的是一種籽晶連接結構。

背景技術

目前市場藍寶石生長爐主要分為:藍寶石泡生爐、藍寶石導膜爐、藍寶石熱交換爐、火焰法藍寶石爐。其中針對現有市場藍寶石泡生爐和藍寶石導膜爐各自占有其特定市場的優勢。而隨著市場對藍寶石窗口片的需求不斷變化，藍寶石導膜爐生長大尺寸窗口片的優勢漸漸被市場所重視，片數從原來的1片、3片、5片到現在的16片、23片、30片，寬度從原來的40毫米發展到現在80毫米甚至于110毫米。

目前市場上對藍寶石窗口片的應用相當廣泛，有低端應用也有高端應用，藍寶石生長過程中籽晶對模具的損傷是一直存在的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種保護模具、延長模具使用的壽命的籽晶連接結構。

為解決上述技術問題，本發明籽晶連接結構，包括：上桿套，所述上桿套為中空設置，在所述上桿套的側壁上設有調節孔；下滑桿，所述下滑桿設置在所述上桿套內，在所述下滑桿的側部設有定位銷，所述定位銷穿設于所述調節孔；限位臺，所述限位臺設置在所述下滑桿的端部。

所述調節孔為腰形孔。

在所述上桿套的端部設有上連接件。

在所述限位臺上設有下連接件。

本發明籽晶連接結構采用滑套的連接方式，在引晶階段時的籽晶下壓模具時滑套會往上退回，使籽晶對模具不會產生較大的壓力，從而保護模具不被籽晶壓出凹痕。達到保護模具和延長模具使用壽命的作用。

附圖說明

圖1為本發明籽晶連接結構的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明籽晶連接結構作進一步詳細說明。

如圖1所示，本發明籽晶連接結構使用滑套連接，可以根據使用時長短需求增加或減少長度。具體的，包括：中空的上桿套1，在上桿套1的端部設有上連接件6。下滑桿3設置在上桿套1內，在下滑桿3的側部設有定位銷4，定位銷4從上桿套1側壁上的腰形調節孔2內伸出，在調節孔2移動以帶動下滑桿3移動，設置在下滑桿3端部的限位臺5以限制下滑桿3的運動幅度，在限位臺5上設有下連接件7。

以上已對本發明創造的較佳實施例進行了具體說明，但本發明創造并不限于實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本發明創造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。