[實用新型]上電極裝置

有效

• 申請號: 202021059851.0
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN211980557U
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 鄒耀輝;林坤道;林祺勛
• 申請（專利權）人: 周業投資股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;史瞳

一種上電極裝置，包含電極板、數個陶瓷管以及保護層。所述電極板包括上下相反的頂表面與底表面，以及多個連接于所述頂表面與所述底表面間且分別界定岀數個貫孔的內周面。所述陶瓷管分別設置在所述貫孔中，且每一陶瓷管包括上下相反的頂環面與底環面，以及連接于所述頂環面及所述底環面間的外管面。每一外管面與所述電極板各自的內周面相配合界定出位于所述內周面與所述外管面間的交界區。所述保護層覆蓋所述電極板的底表面與所述交界區的底端。由于所述保護層覆蓋所述交界區，故能有效避免電漿及腐蝕氣體自所述交界區進入而侵蝕所述電極板。

技術領域

本實用新型涉及一種干蝕刻設備所包含的裝置，特別是涉及一種用于電漿蝕刻的上電極裝置。

背景技術

參閱圖1至3，一種現有的上電極裝置，適用于進行干蝕刻并適用于架設在一反應腔體11上，且適用于設置在一下電極12上方。

所述上電極裝置包含一電極板13、多個塞裝于所述電極板13中的陶瓷管14，以及一層披覆在所述電極板13底側的保護層15。

所述電極板13包括上下相反的一頂表面131與一底表面132，以及多個由所述頂表面131延伸至所述底表面132的貫孔133。每一貫孔133供各自的一個陶瓷管14插設塞裝在其中。

每一陶瓷管14緊迫所述電極板13地塞裝在所述電極板13中，并包括上下相反的一頂環面141與一底環面142，以及上下延伸連接于所述頂環面141與所述底環面142間并呈圓柱狀且內外間隔的一個內管面143與一個抵接所述電極板13的外管面144。每一外管面144與所述電極板13及所述保護層15相配合界定出一交界區145。

所述保護層15通過陶瓷材料熔射于所述電極板13的所述底表面132而形成，除了覆蓋于所述底表面132外，還圍繞每一陶瓷管14的所述外管面144的底部，但未覆蓋住每一陶瓷管14的所述底環面142，也未覆蓋住每一交界區145。

所述保護層15能有效保護所述電極板13于干蝕刻時不受到所述反應腔體11內的電漿和腐蝕氣體侵蝕，但由于所述保護層15并未覆蓋每一陶瓷管14的所述底環面142及每一交界區145，因此干蝕刻時，電漿和腐蝕氣體將有機會經由所述交界區145進入，并侵蝕所述電極板13，導致所述電極板13長久使用后如圖3所示地被侵蝕、剝落而產生擴孔現象。除了所述陶瓷管14將因此有脫落的疑慮外，所述電極板13的剝落物也有污染制程的問題。此外，所述底環面142與所述內管面143彼此是垂直連接，此種直角的連接部位也容易有損壞而產生剝落物并污染制程的問題，同樣也有待改善。

發明內容

本實用新型的目的在于：提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的上電極裝置。

本實用新型上電極裝置，包含形成有數個貫孔的電極板、多個分別設置在所述貫孔中的陶瓷管，以及覆蓋所述電極板底側的保護層，所述電極板包括上下相反的頂表面與底表面，以及多個連接于所述頂表面與所述底表面間且分別界定岀所述貫孔的內周面，每一陶瓷管包括上下相反的頂環面與底環面，以及連接于所述頂環面及所述底環面間的外管面，每一外管面與所述電極板對應的所述內周面相配合界定出位于所述內周面與所述外管面間的交界區，所述保護層覆蓋所述電極板的底表面與所述交界區的底端。

本實用新型所述的上電極裝置，還包含數個黏接層，每一黏接層位于各自的所述交界區中，并黏接于對應的所述陶瓷管的外管面與所述電極板對應的所述內周面間，所述保護層還覆蓋每一黏接層的底端。

本實用新型所述的上電極裝置，每一陶瓷管以對應的所述外管面緊抵所述電極板對應的所述內周面的方式緊配合地插設于對應的所述貫孔中。

本實用新型所述的上電極裝置，所述電極板還包括多個分別由所述內周面徑向往內突伸的凸出單元，每一凸出單元位于各自的所述陶瓷管的上方，并抵接于對應的所述陶瓷管的頂環面。

本實用新型所述的上電極裝置，每一凸出單元包括呈環狀且由各自的所述內周面徑向往內突伸的凸出件。