[實用新型]一種化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置

有效

• 申請號: 202021030481.8
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN213203195U
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 賀鵬博;周帆
• 申請（專利權）人: 湖南鎧欣新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 張勇

1.一種化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，包括：

底座；

腔體，所述腔體開設在底座上；

安裝槽，所述安裝槽開設在腔體的一側內壁上；

電機，所述電機固定安裝在安裝槽的底部內壁上，所述電機的輸出軸延伸至腔體內；

第一錐形齒輪，所述第一錐形齒輪固定安裝在電機的輸出軸上；

內螺紋管，所述內螺紋管轉動安裝在腔體內；

第二錐形齒輪，所述第二錐形齒輪固定套設在內螺紋管上，所述第一錐形齒輪與第二錐形齒輪嚙合；

空心管，所述空心管固定安裝在底座的頂部；

螺桿，所述螺桿螺紋安裝在內螺紋管內，所述螺桿的頂端延伸至空心管內；

滑桿，所述滑桿滑動安裝在空心管內，所述螺桿的頂端與滑桿的底端固定連接；

多個盛放盤，多個盛放盤均轉動套設在空心管上；

多個連接塊，多個連接塊分別固定安裝在滑桿的兩側，所述連接塊的一側延伸至空心管外；

多個封蓋，多個封蓋均固定安裝在對應的連接塊上。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，所述空心管的兩側內壁上均開設有多個第一滑孔，多個連接塊分別與對應的第一滑孔滑動連接。

3.根據權利要求1所述的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，所述腔體內固定安裝有兩個支撐塊，兩個支撐塊上均開設有轉動通孔，所述內螺紋管與兩個轉動通孔轉動連接。

4.根據權利要求1所述的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，所述底座的底部固定安裝有四個呈環形分布的滾輪，所述底座的頂部開設有兩個第一凹槽，兩個第一凹槽內均滑動安裝有壓桿，所述壓桿的頂端延伸至第一凹槽外，所述底座的兩側均開設有第二凹槽，所述第一凹槽的底部與第二凹槽的頂部相連通，所述第二凹槽內滑動安裝有推桿，所述推桿的一端延伸至第二凹槽外，所述推桿的一端固定安裝有帶動塊，所述帶動塊的底部延伸至第二凹槽外并固定安裝有阻尼塊,所述阻尼塊與滾輪相接觸，所述帶動塊的頂部開設有第三凹槽，所述第三凹槽內滑動安裝有卡塊，所述卡塊的頂部延伸至第一凹槽內，所述第三凹槽的底部內壁上固定安裝有第一彈簧，所述第一彈簧的頂端與卡塊的底部固定連接。

5.根據權利要求4所述的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，所述第一凹槽的一側內壁上開設有第一限位槽，所述第一限位槽內固定安裝有第一限位桿，所述第一限位桿上滑動套設有第一限位塊，所述第一限位塊的一側與壓桿固定連接，所述第一限位桿上滑動套設有第二彈簧，所述第二彈簧的底端與第一限位槽的底部內壁相解除，所述第二彈簧的頂端與第一限位塊相接觸。

6.根據權利要求4所述的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，所述第二凹槽的底部內壁上開設有第二限位槽，所述第二限位槽內固定安裝有第二限位桿，所述第二限位桿上滑動套設有第二限位塊，所述第二限位桿上滑動套設有第三彈簧，所述第三彈簧的一端與第二限位槽的一側內壁相接觸，所述第三彈簧的另一端與第二限位塊相接觸。

7.根據權利要求4所述的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉裝置，其特征在于，所述第二凹槽的底部內壁上開設有第二滑孔，所述第二滑孔內固定安裝有定位桿，所述定位桿與帶動塊滑動連接。