[實用新型]一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置

有效

• 申請號: 202021018504.3
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN211907397U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 王德喜
• 申請（專利權）人: 天津萊昌電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

本實用新型公開了一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置，包括清洗箱，所述清洗箱內部底端兩側分別開設有瀝干槽和超聲波清洗槽。本實用新型在進行清洗和瀝干時先把硅片放置到清洗框內部，再通過控制面板啟動移動機構帶動電動伸縮桿、清洗框移動到超聲波清洗槽上端，再通過控制面板啟動電動伸縮桿并帶動清洗框往下移動，且使清洗框與超聲波清洗槽內部接觸進行超聲波清洗，當清洗完成后在通過電動伸縮桿帶動清洗框上移動并與超聲波清洗槽內部分離，再通過控制面板啟動移動機構把清洗框移動到瀝干槽上端，再啟動電動伸縮桿使清洗框移動到瀝干槽內部，再通過控制面板同時啟動電動風機對放置在清洗框內部的硅片進行瀝干即可。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅片技術領域，具體為一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置。

背景技術

單晶硅片，硅的單晶體，是一種具有基本完整的點陣結構的晶體，不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料，用于制造半導體器件、太陽能電池等，用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成；

傳統的一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置存在以下不足；

目前，單晶硅片在生產時需要使用到很多的步驟，而在對單晶硅片進行清洗瀝干時都是分開操作的缺少防護性。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置，包括清洗箱，所述清洗箱內部底端兩側分別開設有瀝干槽和超聲波清洗槽，所述清洗箱內部上端中部之間固定設置有導桿，所述導桿左側固定設置有移動機構，所述移動機構底端固定設置有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿底端固定設置有清洗框，所述瀝干槽內部兩側均開設有凹槽，所述凹槽內部上端與下端均固定設置有安裝架，所述安裝架在遠離凹槽的一側之間均固定設置有電動風機，所述清洗箱外部右側上端固定設置有控制面板，所述控制面板通過導線分別與移動機構、電動伸縮桿和電動風機電性連接。

優選的，所述清洗箱外部左側中上端開設有通槽且通槽內部固定設置有擋板。

優選的，所述清洗箱底端左側在位于瀝干槽的相對位置固定設置有接收盒，所述接收盒頂端四周與清洗箱之間固定設置有連接軸板。

優選的，所述清洗箱底端右側在位于瀝干槽的相對位置固定設置有放水頭，所述清洗箱外部右側中部固定設置有進水頭。

優選的，所述清洗箱頂端固定設置有蓋板，所述電動風機與凹槽之間均存在間隙。

優選的，所述清洗框外部均開設有若干圓孔，所述清洗框呈橡膠材質制成。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型在進行清洗和瀝干時先把硅片放置到清洗框內部，再通過控制面板啟動移動機構帶動電動伸縮桿、清洗框移動到超聲波清洗槽上端，再通過控制面板啟動電動伸縮桿并帶動清洗框往下移動，且使清洗框與超聲波清洗槽內部接觸進行超聲波清洗，當清洗完成后在通過電動伸縮桿帶動清洗框上移動并與超聲波清洗槽內部分離，再通過控制面板啟動移動機構把清洗框移動到瀝干槽上端，再啟動電動伸縮桿使清洗框移動到瀝干槽內部，再通過控制面板同時啟動電動風機對放置在清洗框內部的硅片進行瀝干即可，這樣的結構操作起來更加的快捷；

2、本實用新型同時在通過清洗框進行清洗和瀝干后，通過移動機構把清洗框移動到清洗箱內部左側位于擋板的相對位置，再把擋板打開從而使清洗框與電動伸縮桿底端分離，再對清洗框內部的硅片進行更換依次循環，且在進行清洗與瀝干的過程都是在清洗箱內部操作完成，這樣在清洗瀝干時便于增加硅片的防護性。

附圖說明

圖1為本實用新型一種用于單晶硅片的清洗瀝干裝置整體結構示意圖；