[實用新型]一種半導體芯片劃片裝置

有效

• 申請號: 202021015845.5
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN212705019U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 吳金忠;楊仁雪;李少卿;楊永;王青山;郝玉秀
• 申請（專利權）人: 紹興金輝久研科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/142
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 徐鋒

本實用新型涉及芯片技術領域，尤其是一種半導體芯片劃片裝置，包括底板，所述底板上焊接有第一直線電機，所述第一直線電機一側的底板上焊接有第二直線電機，且第二直線電機和第一直線電機相互垂直設置，所述第二直線電機的滑塊上固定設有半導體芯片放置板。該半導體芯片劃片裝置在使用時，利用半導體芯片固定機構將半導體芯片固定在半導體芯片放置板上，利用激光切割機對半導體芯片劃片的同時，啟動抽風機，在抽風機的帶動下，激光切割半導體芯片時產生的煙霧會依次通過導氣罩、集氣管和導氣管，最終進入到氣體處理機構中，煙霧在氣體處理機構中被處理后排放到車間中，不會讓煙霧污染車間內的環境。

技術領域

本實用新型涉及芯片技術領域，尤其涉及一種半導體芯片劃片裝置。

背景技術

目前的劃片裝置常采用激光來對半導體芯片進行劃片處理，激光在切割半導體芯片時，會讓激光照射處的半導體芯片加熱至汽化溫度，進而將半導體芯片割開，汽化的半導體材料會使得切割半導體芯片時產生煙霧，雖然車間中安裝的有空氣凈化處理設備，但是空氣凈化處理設備距離切割的半導體芯片遠，不能及時的將煙霧排到車間外，而目前的劃片裝置上又沒有煙霧處理機構，煙霧還是會污染車間內的環境，對工人的安全存在威脅。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的沒有煙霧處理功能的缺點，而提出的一種半導體芯片劃片裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

設計一種半導體芯片劃片裝置，包括底板，所述底板上焊接有第一直線電機，所述第一直線電機一側的底板上焊接有第二直線電機，且第二直線電機和第一直線電機相互垂直設置，所述第二直線電機的滑塊上固定設有半導體芯片放置板，所述半導體芯片放置板兩側上均固定設有半導體芯片固定機構，所述第一直線電機的滑塊上垂直焊接有固定桿，所述固定桿頂端上垂直焊接有頂板，所述固定桿一側的頂板上焊接有激光切割機，所述激光切割機兩側的頂板上均垂直焊接有連接桿，兩個所述連接桿底端共同固定有方形的集氣管，所述集氣管上等距且連通固定有導氣罩，所述集氣管一側上連通固定有導氣管，所述導氣管上固定有抽風機，所述抽風機固定在頂板上，所述導氣管遠離集氣管的頂端貫穿頂板并固定有氣體處理機構，所述氣體處理機構固定在頂板上表面上。

優選的，所述半導體芯片固定機構包括固定柱，所述固定柱固定在半導體芯片放置板上表面一端中部上，所述固定柱上同軸心轉動設有轉動軸，所述轉動軸頂端上固定設有轉動桿，所述轉動桿上豎直固定有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿底端上固定有擠壓板。

優選的，所述氣體處理機構包括水存放盒，所述水存放盒固定在頂板上表面上，所述導氣管遠離激光切割機的頂端貫穿水存放盒側壁底端并延伸至水存放盒內部。

優選的，所述水存放盒上固定設有排液管，所述排液管上設有控制閥。

優選的，所述固定桿上垂直且貫穿固定設有限位桿，所述固定桿兩側的限位桿下表面兩端上均垂直焊接有支撐腿，所述支撐腿底端上固定有滑輪，兩個所述滑輪分別和第一直線電機兩側的底板表面相接觸。

本實用新型提出的一種半導體芯片劃片裝置，有益效果在于：該半導體芯片劃片裝置在使用時，利用半導體芯片固定機構將半導體芯片固定在半導體芯片放置板上，利用激光切割機對半導體芯片劃片的同時，啟動抽風機，在抽風機的帶動下，激光切割半導體芯片時產生的煙霧會依次通過導氣罩、集氣管和導氣管進入到氣體處理機構中，煙霧在氣體處理機構中被處理后排放到車間中，不會讓煙霧污染車間內的環境。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種半導體芯片劃片裝置的正視圖；

圖2為本實用新型提出的一種半導體芯片劃片裝置的集氣管的仰視圖；

圖3為本實用新型提出的一種半導體芯片劃片裝置的左視圖。