[實用新型]半導體器件封裝用加工裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021012785.1 | 申請日: | 2020-06-05 |
| 公開(公告)號: | CN212113644U | 公開(公告)日: | 2020-12-08 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳學峰;李碧;胡乃仁;孫長委 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州固锝電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 馬明渡;王健 |
| 地址: | 215053 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體器件 封裝 加工 裝置 | ||
1.一種半導體器件封裝用加工裝置,其特征在于:包括本體(1)和設置于本體(1)上方的蓋體(2),所述本體(1)的上表面具有一與蓋體(2)的下表面相對設置的放置區(qū)(101),一基板組件(5)放置于放置區(qū)(101)內(nèi),此基板組件(5)包括載板(51)、蓋板框(52)和位于載板(51)上表面的基板(53),所述蓋板框(52)設置于基板(53)上方,且蓋板框(52)的下表面與基板(53)邊緣處的上表面接觸連接;
所述蓋體(2)的下表面設置有若干個與蓋板框(52)對應的磁體(3),當蓋體(2)放置于具有基板組件的本體(1)上時,所述磁體(3)可與蓋板框(52)吸附連接;所述放置區(qū)(101)為開設于本體(1)上表面、供基板組件嵌入的凹槽(11),此凹槽(11)的一端設置有擋條(112),另一端為進料口(113),所述基板組件可自進料口(113)滑動進入或離開放置區(qū)(101)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件封裝用加工裝置,其特征在于:所述載板(51)的四周具有磁性,所述蓋板框(52)的材質(zhì)為鐵,所述載板(51)通過磁吸力吸附蓋板框(52)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件封裝用加工裝置,其特征在于:所述磁體(3)為磁鐵。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件封裝用加工裝置,其特征在于:所述蓋體(2)的一側(cè)邊緣與本體(1)的一側(cè)連接,使得蓋體(2)可開合地連接于本體(1)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體器件封裝用加工裝置,其特征在于:所述放置區(qū)(101)的兩側(cè)分別設置有一壓條(102),此壓條(102)的一側(cè)嵌入本體(1)上表面的凹槽(11)內(nèi),所述壓條(102)的另一側(cè)伸入放置區(qū)(101)上方。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





