[實用新型]一種氣液通道分離的超薄均熱板

有效

• 申請號: 202020999980.1
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212658106U
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 陳曲;吳曉寧;唐文軍;胡循亮;唐黎;何陽
• 申請（專利權）人: 北京中石偉業科技無錫有限公司;北京中石偉業科技股份有限公司;北京中石偉業科技宜興有限公司;無錫中石庫洛杰科技有限公司
• 主分類號: F28D15/04
• 分類號: F28D15/04;F28F21/08;H01L23/427
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良

1.一種氣液通道分離的超薄均熱板，包括蓋板（1）和底板（2），其特征在于，所述蓋板（1）和底板（2）周邊密封連接形成密封工質腔，密封工質腔處于真空狀態，其內填充有液態工質，所述蓋板（1）內表面為凹面，包括第一區域（10）和第二區域（11），其中第一區域（10）設置有規則排布的支撐柱（101），第二區域（11）不設置支撐柱（101），用來放置泡沫銅吸液芯（3），所述泡沫銅吸液芯（3）的上表面與蓋板（1）的下表面緊密貼合，泡沫銅吸液芯（3）的下表面與底板（2）的上表面緊密貼合。

2.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，所述蓋板（1）的壁厚為0.13-0.20mm，壁面材料采用不銹鋼或鈦制作而成，內壁鍍銅。

3.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，所述底板（2）的壁厚為0.07-0.12mm，壁面材料采用不銹鋼或鈦制作而成，內壁鍍銅，并對底板（2）的內表面進行粗化處理。

4.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，所述蓋板（1）內表面的凹面和支撐柱（101）是利用化學腐蝕的方式形成的，支撐柱（101）包括小圓柱（1011）與長條柱（1012）。

5.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，所述泡沫銅吸液芯（3）的厚度為0.07-0.15mm，泡沫銅吸液芯（3）的形狀與第二區域（11）的形狀相匹配，在保證熱源處有足夠吸液芯的前提下，泡沫銅吸液芯（3）貫穿于均熱板平面。

6.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，采用磁控濺射鍍二氧化鈦、熱氧化法或等離子清洗的方法對所述泡沫銅吸液芯（3）進行親水性處理。

7.根據權利要求3所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，底板（2）的內表面進行粗化處理時采用物理方法在底板（2）的內表面形成具有茸毛形貌的連續毛細結構。

8.根據權利要求3所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，底板（2）的內表面進行粗化處理時采用化學或電化學方法在底板（2）的內表面形成親水性多孔結構。

9.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，所述蓋板（1）和底板（2）采用釬焊的方式實現周邊密封連接，底板（2）內表面為中央高、四周低的結構。

10.根據權利要求1所述的氣液通道分離的超薄均熱板，其特征在于，所述蓋板（1）和底板（2）采用擴散焊的方式實現周邊密封連接，底板（2）內表面設置有微通道（20），底板（2）內側面與支撐柱（101）通過擴散焊的方式結合為一體。