[實用新型]一種芯片生產制造用冷卻裝置有效
| 申請號: | 202020956566.2 | 申請日: | 2020-05-31 |
| 公開(公告)號: | CN211929449U | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 北京凱愛眼科醫院管理有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳靈頓知識產權代理事務所(普通合伙) 44558 | 代理人: | 陶品德 |
| 地址: | 101100 北京市通*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 生產 制造 冷卻 裝置 | ||
本實用新型公開了一種芯片生產制造用冷卻裝置,包括:承裝塊;安裝塊,所述承裝塊的頂端設置有安裝塊;底座,所述承裝塊的底端設置有底座;冷卻塊,所述安裝塊的頂端設置有冷卻塊,所述冷卻塊的一端與承裝塊固定連接。該芯片生產制造用冷卻裝置,通過裝芯塊將芯片固定,電機帶動轉塊轉動,可使每個裝有芯片的裝芯塊與伸縮氣缸配合,進入冷卻塊內進行冷卻,裝置簡單,易于操作,相比于單個冷卻,效率更高,實用性較強。
技術領域
本實用新型涉及芯片技術領域,具體為一種芯片生產制造用冷卻裝置。
背景技術
芯片在電子學中是一種把電路小型化的方式,并時常制造在半導體晶圓表面上,芯片在工作時會產生熱量,導致芯片的大量能量轉化為了熱量,使得芯片的能量被浪費;
現有的芯片冷卻裝置雖然可以對芯片起到冷卻效果,但是裝置結構大多較為復雜,不易于操作,在冷卻過程中,芯片容易發生移動,導致冷卻效果較差,而且現有的冷卻裝置多為對芯片的單獨冷卻,使得冷卻效果非常低,需要頻繁更換芯片,實用性較差。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種芯片生產制造用冷卻裝置,以至少解決現有技術的芯片生產制造用冷卻裝置不便固定,冷卻效率低的問題。
為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種芯片生產制造用冷卻裝置,包括:
承裝塊;
安裝塊,所述承裝塊的頂端設置有安裝塊;
底座,所述承裝塊的底端設置有底座;
冷卻塊,所述安裝塊的頂端設置有冷卻塊,所述冷卻塊的一端與承裝塊固定連接。
優選的,所述安裝塊的前端轉動設置有前蓋,所述前蓋的內端中部設置有連接塊的一端,所述連接塊的另一端設置有伸縮氣缸。
優選的,所述安裝塊的后端設置有電機,所述電機的輸出軸延伸進安裝塊的內腔,并設置有轉板。
優選的,所述安裝塊的內腔轉動設置有轉塊,所述轉塊的后端設置有連接環塊,所述連接環塊通過螺栓設置在轉板。
優選的,所述安裝塊的頂端開設有開口一。
優選的,所述轉塊的表面內腔滑動設置有多個裝芯塊,多個所述裝芯塊沿轉塊的中心點等角度設置,所述裝芯塊的底端兩側與轉塊的內腔之間均設置有彈簧,所述裝芯塊的兩端均開設有冷卻口,所述裝芯塊的下端中部開設有插孔,所述伸縮氣缸的輸出端正對最頂端的插孔。
優選的,所述冷卻塊的底端開設有開口二,所述開口一與開口二相對,所述冷卻塊的內腔一端設置有冷卻風扇。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:該芯片生產制造用冷卻裝置,通過裝芯塊將芯片固定,電機帶動轉塊轉動,可使每個裝有芯片的裝芯塊與伸縮氣缸配合,進入冷卻塊內進行冷卻,裝置簡單,易于操作,相比于單個冷卻,效率更高,實用性較強。
附圖說明
圖1為本實用新型立體結構示意圖;
圖2為圖1的安裝塊結構示意圖;
圖3為圖2的轉塊剖切示意圖;
圖4為圖1的冷卻塊剖切示意圖。
圖中:1、承裝塊,2、安裝塊,3、底座,4、冷卻塊,5、前蓋,6、連接塊,7、伸縮氣缸,8、電機,9、轉板,10、轉塊,11、連接環塊,12、螺栓,13、開口一,14、裝芯塊,15、彈簧,16、冷卻口,17、插孔,18、開口二,19、冷卻風扇。
具體實施方式
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





