[實用新型]排廢裝置及拉晶爐有效
| 申請號: | 202020946547.1 | 申請日: | 2020-05-29 |
| 公開(公告)號: | CN212688229U | 公開(公告)日: | 2021-03-12 |
| 發明(設計)人: | 趙亮;王東;孔凡靜 | 申請(專利權)人: | 邢臺晶龍新能源有限責任公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐穎聰 |
| 地址: | 054000 河北省*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 拉晶爐 | ||
1.一種排廢裝置,用于排出拉晶爐內的廢氣,其特征在于,包括:
第一管道,所述第一管道通過第一閥體與抽真空裝置相連且所述第一管道與所述抽真空裝置之間通過所述第一閥體能夠連通/斷開;
第二管道,所述第二管道通過第二閥體與所述抽真空裝置相連且所述第二管道與所述抽真空裝置通過所述第二閥體能夠連通/斷開。
2.根據權利要求1所述的排廢裝置,其特征在于,還包括:
第三閥體和第四閥體,所述第三閥體連接在所述第一管道的遠離所述第一閥體的一端,所述第四閥體連接在所述第二管道的遠離所述第二閥體的一端。
3.根據權利要求2所述的排廢裝置,其特征在于,所述第一閥體和所述第二閥體分別為球閥,所述第三閥體與所述第四閥體分別為旋板閥。
4.根據權利要求2所述的排廢裝置,其特征在于,還包括:
控制器,所述控制器分別與所述第一閥體、所述第二閥體、所述第三閥體以及所述第四閥體相連,用于控制所述第一閥體、所述第二閥體、所述第三閥體以及所述第四閥體的開度。
5.根據權利要求1所述的排廢裝置,其特征在于,所述抽真空裝置為干泵。
6.根據權利要求1所述的排廢裝置,其特征在于,所述第一管道和所述第二管道分別包括有多根。
7.根據權利要求6所述的排廢裝置,其特征在于,所述第一管道和所述第二管道各為2根,2根所述第一管道分別位于2根所述第二管道的外側,且所述第一管道與所述第二管道排成列成一條直線。
8.一種拉晶爐,其特征在于,包括:
爐體,所述爐體內設有石英坩堝;
爐底,所述爐底連接在所述爐體底部,所述爐底上設有第一排廢孔和第二排廢孔;
排廢裝置,所述排廢裝置為權利要求1至7任一項所述的排廢裝置,
其中,所述排廢裝置的第一管道與所述第一排廢孔相連,所述排廢裝置的第二管道與所述第二排廢孔相連。
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