[實(shí)用新型]自動(dòng)去除膠板裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020747449.5
• 申請日: 2020-05-08
• 公開（公告）號: CN212218915U
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊宣教
• 申請（專利權(quán)）人: 張家港市德昶自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32304
• 代理人: 馬麗麗

本申請公開了一種自動(dòng)去除膠板裝置，包括上下設(shè)置的第一支架和第二支架，第一支架和第二支架位于同側(cè)的其中一端通過縱向支架連接，第二支架遠(yuǎn)離縱向支架的一端設(shè)有一對滑軌，一對滑軌之間滑動(dòng)連接有支撐板，第二支架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)支撐板沿滑軌移動(dòng)的第一氣缸，支撐板上縱向設(shè)有第二氣缸，第二氣缸的頂部設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端與第三支架連接，第三支架的頂部凹設(shè)有供第二支架遠(yuǎn)離縱向支架一端穿過的凹槽。該裝置通過結(jié)構(gòu)配合，實(shí)現(xiàn)脫膠自動(dòng)化，整體自動(dòng)化水平高，提高脫膠效率，避免安全隱患，減少人工成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及半導(dǎo)體晶圓設(shè)備領(lǐng)域，特別是一種自動(dòng)去除膠板裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶圓經(jīng)線切割下料并運(yùn)輸至脫膠機(jī)處進(jìn)行脫膠，在脫膠過程中，晶圓頂部粘附在膠板上，機(jī)械手將裝有晶圓的硅片花籃運(yùn)輸至加熱槽內(nèi)加熱，加熱后通過機(jī)械手對膠板進(jìn)行夾持后通過升降的方式將膠板從晶圓上取出，然后由人工將膠板從機(jī)械手上取下，機(jī)械手再通過升降的方式將花籃取出進(jìn)而實(shí)現(xiàn)脫膠。該過程中人工取出膠板存在安全隱患，且自動(dòng)化較低，影響脫膠效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種自動(dòng)去除膠板裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

本申請實(shí)施例公開了自動(dòng)去除膠板裝置，其特征在于：：包括上下設(shè)置的第一支架和第二支架，所述第一支架和第二支架位于同側(cè)的其中一端通過縱向支架連接，所述第二支架遠(yuǎn)離縱向支架的一端設(shè)有一對滑軌，一對所述滑軌對稱設(shè)置在第二支架的兩側(cè)且相向設(shè)置，一對所述滑軌之間滑動(dòng)連接有支撐板，所述第二支架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)支撐板沿滑軌移動(dòng)的第一氣缸，所述支撐板上縱向設(shè)有第二氣缸，所述第二氣缸的頂部設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端向上設(shè)置，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端與第三支架連接，所述第三支架的頂部凹設(shè)有供第二支架遠(yuǎn)離縱向支架一端穿過的凹槽。

優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)去除膠板裝置中，所述第三支架的截面呈“山”字型。

優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)去除膠板裝置中，所述凹槽兩側(cè)的第三支架的頂部設(shè)有支撐臺。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

該裝置通過第一氣缸將第三支架延伸至機(jī)械手底部，旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)第三支架與膠板平行，機(jī)械手正好將膠板放置在第三支架頂部，第一氣缸驅(qū)動(dòng)第三支架使得第一支架插入第三支架內(nèi)，第二氣缸帶動(dòng)第三支架下降進(jìn)而膠板剛好放置在第一支架上，整體自動(dòng)化水平高，提高脫膠效率，避免安全隱患，減少人工成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實(shí)用新型具體實(shí)施例中自動(dòng)去除膠板裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。