[實用新型]膜厚的檢測裝置

有效

• 申請號: 202020599477.7
• 申請日: 2020-04-20
• 公開（公告）號: CN211696232U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 戚務昌;宋榮鑫;張凱;曲濤;林永輝;姜利
• 申請（專利權）人: 威海華菱光電股份有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 霍文娟

本申請提供了一種膜厚的檢測裝置，該裝置包括：檢出結構，包括檢出電極；共通電極，與檢出電極在第一方向上相對且間隔設置，檢出結構和共通電極之間的間距為預定間距；介質部，位于檢出電極和共通電極之間，且介質部位于檢出結構的表面上和/或位于共通電極的表面上，介質部的厚度小于預定間距，介質部用于增加檢出電極和共通電極之間的介電常數。通過在檢出電極和共通電極之間設置介質部，由于介質部增加了檢出電極與共通電極之間的介電常數，即改善了檢出電極與共通電極之間的導電特性，使得該檢測裝置具有較高的檢測靈敏度與精度。

技術領域

本申請涉及膜厚檢測領域，具體而言，涉及一種膜厚的檢測裝置。

背景技術

現有的薄膜厚度檢測裝置，是利用靜電荷感應的原理來檢測薄膜厚度的，這種薄膜厚度檢測裝置包括共通電極、檢出電極以及檢出電路，共通電極與檢出電極在第一方向上相對設置，間隔一定距離形成間隙均一的待測物體的通道。

現有的薄膜厚度檢測裝置工作時，在共通電極上施加脈沖信號，檢出電極上就會感應出電壓信號，當待檢測的薄膜從檢出電極上方通過時，檢出電極上的電壓就會發生變化，電壓的變化大小與所通過物體的性質和厚度有關，由于檢出電路與檢出電極電連接，并且檢出電路的電路結構能夠將獲得的電壓變化值轉變成待檢測薄膜的厚度，因此，檢出裝置能夠檢測出該薄膜的厚度，進而得出薄膜的厚度是否異常，其表面是否有異物、缺損或者折疊。

上述現有的薄膜厚度檢測裝置存在如下問題：為了提高薄膜厚度檢測裝置的檢測感度，必須使共通電極與檢出電極形成的檢測通道的間距盡量減小，然而距離過小使得薄膜不容易從檢測通道中通過，在薄膜掃描過程中尤其時連續掃描過程中很容易卡膜，因而限制了此類薄膜厚度檢測裝置的實際應用。具體地，薄膜包括紙幣、普通紙張以及其他薄膜等。

在背景技術部分中公開的以上信息只是用來加強對本文所描述技術的背景技術的理解，因此，背景技術中可能包含某些信息，這些信息對于本領域技術人員來說并未形成在本國已知的現有技術。

實用新型內容

本申請的主要目的在于提供一種膜厚的檢測裝置，以解決現有技術中的檢測裝置難以在不減小檢測通道的寬度的情況下提高檢測感度的問題。

為了實現上述目的，根據本申請的一個方面，提供了一種膜厚的檢測裝置，包括：檢出結構，包括檢出電極；共通電極，與所述檢出電極在第一方向上相對且間隔設置，所述檢出結構和所述共通電極之間的間距為預定間距；介質部，位于所述檢出電極和所述共通電極之間，且所述介質部位于所述檢出結構的表面上和/或位于所述共通電極的表面上，所述介質部的厚度小于所述預定間距，所述介質部用于增加所述檢出電極和所述共通電極之間的介電常數。

進一步地，所述檢出結構還包括多個所述檢出電極，多個所述檢出電極至少沿第二方向依次排列設置，所述第二方向分別與所述第一方向以及待測物體的移動方向垂直，所述介質部在所述第二方向上的長度大于或者等于多個所述檢出電極在所述第二方向上的總長度。

進一步地，所述介質部位于所述共通電極的靠近所述檢出電極的表面上。

進一步地，所述共通電極為圓柱體電極，所述圓柱體電極的軸向與所述第二方向平行。

進一步地，所述介質部圍設在所述共通電極的外周。

進一步地，所述介質部的厚度大于或者等于所述共通電極的半徑。

進一步地，所述共通電極可轉動，所述介質部的材料為醚類聚氨酯、特氟龍或硅膠。

進一步地，所述檢出結構還包括：框體，具有容納腔；線路板，位于所述容納腔內；多個沿所述第二方向依次排列的靜電感應芯片，各所述靜電感應芯片位于所述線路板的靠近所述共通電極一側的表面上，各所述靜電感應芯片包括多個沿所述第二方向依次排列的所述檢出電極；檢出電路，位于所述容納腔內且位于所述線路板的遠離所述靜電感應芯片的一側表面上。